DC Magnetron Sputter Plasma 균일도 향상을 위한 자석배열 최적화

김재원 ,  장세환 ,  이관용 외 1명

한국생산제조학회 학술발표대회 논문집

2021 .12

디스플레이용 DC Magnetron Sputter에서 플라즈마 균일도 향상을 위한 기판전극 형상 설계

고동우 ,  김재원 ,  장세환 외 2명

한국생산제조학회 학술발표대회 논문집

2021 .12

Control uniformity of plasma on target of DC magnetron sputter based on magnetic field simulation

Se-Hwan Jang ,  Sun Joo Pa ,  k 외 3명

한국생산제조학회 학술발표대회 논문집

2018 .10

국부적인 자기장 제어를 통한 대면적 DC Magnetron Sputtering 의 플라즈마 고밀도 균일화

이형빈 ,  김나경 ,  김영주

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2024 .11

Real-time monitoring for detecting an abnormal arc discharge in DC magnetron sputter using OES

Tae Hun Lim ,  Se Hwan Jang ,  Young-Joo Kim 외 1명

한국생산제조학회 학술발표대회 논문집

2020 .10

Improvement on Plasma Intensity Uniformity in Rectangular DC Magnetron Sputter by Optimizing Structures of Substrate Electrode

Dong-Woo Ko ,  Se-Hwan Jang ,  Jae-Hyun Kim 외 2명

한국생산제조학회지

2023 .04

A Study on the standardize the characteristic evaluation of DC magnetron sputtered silver coatings for engineering purposes

Gobinda Gyawali ,  Jinhyuk Choi ,  Tae Kwan Lim 외 2명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2015 .11

DC전압하에서 SF₆가스 내 금속이물 형상에 따른 부상특성 실험 및 해석연구

방승민 ,  이현우 ,  김중경 외 2명

대한전기학회 학술대회 논문집

2022 .07

Pulsed DC Power Magnetron Sputter System을 사용한 Copper 박막 특성 조절

김도한 ,  이수정 ,  김태형 외 4명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2017 .05

디스플레이용 DC Magnetron Sputter의 타겟 효율 향상을 위한 자기장 시뮬레이션 및 차폐체 배열 설계

장세환 ,  박선주 ,  이관용 외 1명

한국생산제조학회 학술발표대회 논문집

2017 .12

DC/RF 마그네트론 스퍼터링법을 이용한 TiO₂/Ag/TiO₂ 하이브리드 다층박막의 적외선 반사 특성

김성한 ,  김서한 ,  송풍근

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2016 .11

디스플레이 제조용 DC Magnetron Sputter의 금속 박리 억제를 위한 Floating Mask 구조 설계

목진명 ,  장세환 ,  이관용 외 1명

한국생산제조학회 학술발표대회 논문집

2019 .11

RF-diode Sputtering법으로 제작한 Co박막의 자기특성과 미세구조

한창석 ,  김상욱

한국재료학회지

2018 .01

플라즈마 스퍼터링 공정용 DC 전원장치에 관한 연구

권민준 ,  이우철

전력전자학회 학술대회 논문집

2019 .07

Deposition of IGZO thin film using DC and ICP at magnetron sputtering system

C. H. Lee ,  K. N. Kim ,  T. H. Kim 외 3명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2015 .05

스퍼터링 장치의 전극 구성에 따른 박막 특성 분석

변진용 ,  허윤성

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2017 .12

직류 마그네트론 스퍼터링 공정 중 타겟 오염에 따른 박막 및 계면 형성 특성

이진영 ,  허민 ,  이재옥 외 1명

반도체디스플레이기술학회지

2019 .01

DC Magnetron Sputter의 Plasma 균일도 향상을 위한 Double Racetrack 설계

정연수 ,  장세환 ,  이관용 외 1명

한국생산제조학회 학술발표대회 논문집

2019 .11

3차원 시뮬레이션 기반 공정가스에 따른 Plasma 특성 변화 평가

장세환 ,  고동우 ,  김기백 외 3명

한국생산제조학회 학술발표대회 논문집

2022 .12

SF₆ 가스 중 평판전극 구조에서 금속 이물의 AC/DC 부상 특성 비교 연구

이현우 ,  방승민 ,  김중경 외 2명

대한전기학회 학술대회 논문집

2022 .07