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논문 기본 정보
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- 학술저널
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- 저널정보
- 한국전기전자재료학회 Transactions on Electrical and Electronic Materials Transactions on Electrical and Electronic Materials 제16권 제5호
- 발행연도
- 2015.1
- 수록면
- 264 - 267 (4page)
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AlCrNO cermet films were prepared on aluminum substrates using a DC-reactive magnetron sputtering method and a water-cooled Al:Cr target. The Al2O3/AlCrNO (LMVF)/AlCrNO (MMVF)/AlCrNO (HMVF)/Al/substrate of the 5 multilayers was prepared according to the Ar and (N2 + O2) gas-mixture rates. The Al2O3 of the top layer is the anti-reflection layer of triple AlCrNO (LMVF)/AlCrNO (MMVF)/AlCrNO (HMVF) layers, and an Al metal forms the infrared reflection layer. In this study, the crystallinity and surface properties of the AlCrNO thin films were estimated using X-ray diffraction (XRD) and field-emission scanning electron microscopy (FESEM), while the composition of the thin films was systematically investigated using Auger electron spectroscopy (AES). The optical properties of the wavelength spectrum were recorded using UH4150 spectrophotometry (UV-Vis-NIR) at a range of 0.3 μm to 2.5 μm.
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A SHASHIKALA / 2007 / Solar selective black nickel?cobalt coatings on aluminum alloys / Solar Energy Materials and Solar Cells 91 (7) : 629 ~ 635
E Barrera / 2003 / Synthesis of cobalt?silicon oxide thin films / Solar Energy Materials and Solar Cells 76 (3) : 387 ~ 398
F. C. Stedile / 1992 / Study on direct current reactive sputtering deposition of aluminum nitride thin films / Journal of Vacuum Science & Technology A: Vacuum, Surfaces
Harish C. Barshilia / 2006 / TiAlN?TiAlON?Si[sub 3]N[sub 4] tandem absorber for high temperature solar selective applications / Applied Physics Letters 89 (19) : 191909 ~
Harish C. Barshilia / 2014 / Growth, characterization and performance evaluation of Ti/AlTiN/AlTiON/AlTiO high temperature spectrally selective coatings for solar thermal po
E Barrera / 2003 / Synthesis of cobalt?silicon oxide thin films / Solar Energy Materials and Solar Cells 76 (3) : 387 ~ 398
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