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Hydrogen was produced from water plasma excited in high frequency (HF) inductively coupled tubular reactor. Mass spectrometry was used to monitor gas phase species at various process conditions. Water dissociation rate depend on the process parameters such as ICP power, H2O flow-rate and process pressure. Water dissociation percent in ICP reactor decrease with increase of chamber pressure, while increase with increase of ICP power and H2O flow rate. The effect of CH4 gas addition to a water plasma on the hydrogen production has been studied in a HF ICP tubular reactor. The main roles of CH4 additive gas in H2O plasma are to react with O radical for forming CO× and CHO and resulting additional H2 production. Furthermore, CH4 additives in H2O plasma is to suppress reverse-reaction by scavenging O radical. But, process optimization is needed because CH4 addition has some negative effects such as cost increase and CO× emission.

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