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EFFECT OF NEUTRAL GAS FLOW ON THE PLASMA STATE IN ICP PROCESS,
한국재료학회 학술발표대회
1998 .01
유체 시뮬레이션을 이용한 유도결합 Ar/CH₄ 플라즈마의 특성 분석
전기학회논문지
2016 .08
E-ICP와 ICP를 이용한 MIS(Mo/HfO₂/Si) Capacitor의 Plasma Etching Damage 연구
대한전자공학회 학술대회
2007 .07
E-ICP와 ICP를 이용한 MIS(Mo/HfO₂/Si) Capacitor의 Plasma Etching Damage 연구
대한전자공학회 학술대회
2007 .07
플라즈마기술을 적용한 메탄-이산화탄소 가스개질기술 현황
에너지기후변화학회지
2014 .10
아르곤/이산화탄소 혼합가스의 유도 결합 플라즈마를 이용한 이산화탄소 분해 연구
KEPCO Journal on electric power and energy
2015 .01
Plasma Characteristics of (DF-ICP) Dual Frequency Inductively Coupled Pulsed Plasma Source
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2013 .11
C₄F₈/O₂ 공정기체와 E-ICP를 이용한 산화막 식각
대한전자공학회 학술대회
2001 .06
Enhanced-Inductively Coupled Plasma (E-ICP)를 이용한 Silylated photoresist 식각공정개발
전기전자재료학회논문지
2002 .01
대기압 플라즈마 반응기에서의 CH와 CO의 전환처리 특성
공업화학
2011 .01
수치모델을 이용한 ICP-CVD 장치의 증착 균일도 해석
한국표면공학회지
2008 .12
ICP 광원의 정격용량 설계 요소와 전기적 의존성
전기학회논문지
2008 .03
촉매가 첨가된 SnO 가스센서의 탄화수소 가스에 대한 감응 특성
한국재료학회지
2012 .01
SiO2 식각 특성 개선을 위한 E-ICP와 ICP 식각 비교
대한전자공학회 학술대회
1999 .11
아크제트 플라즈마를 이용한 메탄건식개질 반응에서 CO₂와 O₂ 첨가의 영향
한국연소학회지
2008 .12
펄스직류방전과 유도결합방전의 복합에 의한 SCM440강의 이온질화
한국표면공학회지
2010 .04
3차원 소자 제작을 위한 ICP Type Remote PEALD를 이용한 저온(< 300℃) SiO<sub>2</sub> 및 SiON 박막 공정
반도체디스플레이기술학회지
2019 .01
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