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한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 전기전자재료학회논문지 제19권 제8호
발행연도
2006.1
수록면
754 - 757 (4page)

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The inorganic multi-layer thin film encapsulation was newly adopted to protect the organic layer from moisture and oxygen. Using the electron beam, sputter, inorganic multi-layer thin-film encapsulation was deposited onto the Polyethylene Terephthalate (PET) and their interface properties between inorganic and organic layer were investigated. In this investigation, the SiON, SiO2 and parylene layer showed the most suitable properties. Under these conditions, the WVTR for PET can be reduced from level of 0.57 g/㎡/day (bare subtrate) to 1*10-5 g/㎡/day after application of a SiON and SiO2 layer. These results indicates that the PET/SiO2/SiON/Parylene barrier coatings have high potential for flexible organic light-emitting diode(OLED) applications.
#SiON #SiO2 #Parylene #Multi-layer #Encapsulation

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