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저자정보
Han, Jin-Woo (Department of Electrical and Electronics Engineering, Yonsei University) Kang, Hee-Jin (Department of Electrical and Electronics Engineering, Yonsei University) Kim, Jong-Yeon (Department of Electrical and Electronics Engineering, Yonsei University) Kim, Jong-Hwan (Department of Electrical and Electronics Engineering, Yonsei University) Han, Jung-Min (Department of Electrical and Electronics Engineering, Yonsei University) Moon, Hyun-Chan (NANO mechatronics Research Center, Korea Electronics Technology Institute) Park, Kwang-Bum (NANO mechatronics Research Center, Korea Electronics Technology Institute) Kim, Hwi-Woon (Bang Joo Opical Co., Ltd.) Seo, Dae-Shik (Department of Electrical and Electronics Engineering, Yonsei University)
저널정보
한국정보디스플레이학회 한국정보디스플레이학회 International Meeting 한국정보디스플레이학회 2006년도 6th International Meeting on Information Display
발행연도
2006.1
수록면
973 - 976 (4page)

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In this paper, the inorganic multi-layer encapsulation of thin film was newly adopted to protect the organic layer from moisture and oxygen. Using the electron beam, Sputter, inorganic multi-layer thin-film encapsulation was deposited onto the Ethylene Terephthalate(PET) and their interface properties between inorganic and organic layer were investigated. In this investigation, the SiON $SiO_2$ and parylene layer showed the most suitable properties. Under these conditions, the water vapor transmission rate (WVTR) for PET can be reduced from level of $0.57g/m^2/day$ (bare substrate) to $1^{\ast}10^{-5}g/m^2/day$ after application of a SiON and $SiO_2$ layer. These results indicate that the $PET/SiO_2/SiON/Parylene$ barrier coatings have high potential for flexible organic light-emitting diode(OLED) applications.

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