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Laser CVD에 의한 SiON막의 형성과 그 특성
대한전기학회 학술대회 논문집
1991 .11
SiO₂를 이용하여 Sputtering 방법에 의하여 증착된 SiON 박막의 특성
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2019 .11
The Characteristics of Laser-Induced CVD SiON Thin Films
ICVC : International Conference on VLSI and CAD
1997 .01
The Dependence of SiON/Si Interface Characteristic on Depositions Conditions Using Laser CVD
JOURNAL OF KIEE
1995 .09
Laser CVD SiON막의 막 형성 후 열처리 의존성
대한전기학회 학술대회 논문집
1997 .11
Effect of Hydrogen Treatment on Electrical Properties of Hafnium Oxide for Gate Dielectric Application
JOURNAL OF SEMICONDUCTOR TECHNOLOGY AND SCIENCE
2001 .06
PECVD 법에 의해 증착된 광도파로용 SiON 후막 특성 평가
한국통신학회 기타 간행물
2001 .10
Electrical and Structural Properties of Lanthanum Hafnium Oxide (LHO) Films Deposited by ECR Atomic Layer Deposition
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2008 .06
Laser CVD SiON막과 Si기판 계면특성의 퇴적조건 의존성 ( Dependence on Deposition Conditions of Interface Characteristics Between Laser CVD SiON Film and Si-Sub )
대한전자공학회 학술대회
1992 .11
PECVD를 이용한 고굴절률차 SiON 평면 광도파로 박막 제작
한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회
2006 .01
SiON 박막 증착에 사용된 플라즈마에 대한 진단
전기전자재료학회논문지
2003 .01
고분자 기판위에 다층 구조의 박막형 보호층을 적용한 투습률 향상
전기전자재료학회논문지
2006 .01
게이트 유전체를 위한 하프늄 산화막의 플라즈마 화학 기상 증착
한국재료학회 학술발표대회
2002 .01
원자층증착법을 이용한 Hafnium dioxide 박막의 전기적 특성
한국재료학회 학술발표대회
2001 .01
IZO/Glass 박막특성에 미치는 SiO, SiON의 영향
대한기계학회 춘추학술대회
2006 .03
DLTS法에 의한 Laser CVD SiON 膜-si 系의 界面 特性
대한전기학회 학술대회 논문집
1991 .11
플라즈마 화학기상증착법으로 증착법으로 게이트 유전체용 하프늄 옥사이드의 특성평가
한국재료학회 학술발표대회
2001 .01
고분자 기판위에 유기 용매를 사용하지 않은다층 박막 Encapsulation 기술 개발
전기전자재료학회논문지
2006 .01
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