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한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 전기전자재료학회논문지 제19권 제1호
발행연도
2006.1
수록면
71 - 74 (4page)

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In this paper, we investigated the characterization of silicon oxide(SiOx) thin film on Ethylene Terephthalate(PET) substrates by e-beam deposition for transparent barrier application. The temperature of chamber increases from 30 ℃ to 110 ℃, the roughness increase while the Water vapor transmission rate (WVTR) decreases. Under these conditions, the WVTR for PET can be reduced froma level of 0.57 g/㎡/day (bare subtrate) to 0.05 g/㎡/day after application of a 200-nm-thick SiO2 coating at 110 C. A more efficient way to improve permeation of PET was carried out by using a double side coating of a 5-㎛-thick parylene film. It was found that the WVTR can be reduced to a level of -0.2 g/㎡/day. The double side parylene coating on PET could contribute to the lower stress of oxide film, which greatly improves the WVTR data. These results indicates that the SiO2 /Parylene/PET barrier coatings have high potential for flexible organic light-emitting diode(OLED) applications.
#Parelene #SiO2 #Encapsulation #Electron beam

목차

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참고문헌 (8)

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/ 1987. / Organic electroluminescent diode 51 : 913 ~ google schola / 1999. / Mechanics of rollable and foldable film-on-foil electronics 74 (8) : 1177 ~ google schola / 1999. / Oxygen barrier properties of crystallized and talc-filled poly(ethylene terephthalater) 37 : 847 ~ google schola / 2003. / Thin film encapsulated flexible organic electroluminescent displays 83 (3) : 413 ~ google schola / 2003. / 무기 박막형 보호층을 이용한 고분자 유기 발광 다이오드의 특성 평가 : 60 ~ google schola

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