Laser CVD에 의한 SiON막의 형성과 그 특성

권봉재 ,  박종욱 ,  천영일 외 3명

대한전기학회 학술대회 논문집

1991 .11

Laser CVD SiON막의 막 형성 후 열처리 의존성

김창덕 ,  김인수 ,  고중혁 외 2명

대한전기학회 학술대회 논문집

1997 .11

Laser CVD SiON막과 Si기판 계면특성의 퇴적조건 의존성 ( Dependence on Deposition Conditions of Interface Characteristics Between Laser CVD SiON Film and Si-Sub )

박지순 ,  박근영 ,  이계신 외 3명

대한전자공학회 학술대회

1992 .11

The Dependence of SiON/Si Interface Characteristic on Depositions Conditions Using Laser CVD

Yung-Kwon Sung ,  Ji-Ho Ryoo ,  Jong-Kwan Kim 외 1명

JOURNAL OF KIEE

1995 .09

DLTS法에 의한 Laser CVD SiON 膜-si 系의 界面 特性

천영일 ,  김상욱 ,  이승환 외 3명

대한전기학회 학술대회 논문집

1991 .11

Laser CVD SiO2 막의 제특성 ( Characteristics of Laser CVD SiO2 Films )

박종욱 ,  김용우 ,  권봉재 외 3명

대한전자공학회 학술대회

1991 .07

Laser CVD SiO₂막의 제특성

박종욱 ,  김용우 ,  권봉재 외 3명

대한전자공학회 학술대회

1991 .06

Laser CVD SiN막의 전기적 특성

김용우 ,  김상욱 ,  박종욱 외 2명

대한전기학회 학술대회 논문집

1990 .11

Laser CVD에 의한 비정질 실리콘 박막 형성

박근영 ,  유환성 ,  류지호 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1993 .07

Laser CVD에 의한 비정질 실리콘 박막 형성에 관한 연구

유환성 ,  박근영 ,  류지호 외 3명

대한전기학회 학술대회 논문집

1993 .07

The Characteristics of Poly-Si Films Deposited by Laser CVD and Laser Etching

김영훈 ,  권경환 ,  김태훈 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1997 .01

Laser Cvd Silicon Nitride막의 수명시간 예측에 관한 Simulation ( Simulation of Life Time Laser Cvd Sin Films )

김천섭 ,  김용우 ,  권봉재 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1990 .11

Laser CVD silicon nitride막의 수명시간 예측에 관한 Simulation

김천섭 ,  김용우 ,  권봉재 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1990 .11

Laser CVD SiO₂ 막의 절연파괴특성

권봉재 ,  박종욱 ,  김상욱 외 3명

대한전자공학회 학술대회

1991 .06

Laser CVD SiO2 막의 절연파괴특성 ( Breakdown Characteristics of Laser CVD SiO2 Films )

권봉재 ,  박종욱 ,  김상욱 외 3명

대한전자공학회 학술대회

1991 .07

CO₂ Laser-induced CVD법에 의한 Silicon 박막 및 p-n접합 Silicon제작

최원국 ,  정광호 ,  김웅

대한전기학회 학술대회 논문집

1989 .11

Laser CVD에 의한 Ta₂O₅ 형성과 그 특성

홍성훈 ,  류지호 ,  양지운 외 3명

대한전기학회 학술대회 논문집

1994 .07

Laser CVD에 의한 poly-Si 막의 퇴적 및 Laser etching 특성

권경환 ,  김영훈 ,  신상우 외 2명

대한전기학회 학술대회 논문집

1996 .07

A Study on Selective Area Deposition of Insulating Films by Laser CVD Method

成英權 ,  許允宗 ,  金鍾寬 외 2명

전기학회논문지

1993 .09

Laser CVD에 의해 국소선택적으로 형성한 절연막의 형성특성 ( Formation characteristics of selective area deposited insulating films by Laser CVD )

이계신 ,  박근영 ,  이한신 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1993 .07