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This paper describes the fabrication and characteristics of a NO sensor using ZnO thin film integrated 3C-SiC micro heater based on polycrystalline 3C-SiC thin film of operation in harsh environments. The sensitivity, response time, and operating properties in high temperature and voltages of NO sensors based SiC MEMS are measured and analyzed. The sensitivity of device with pure ZnO thin film at the heater operating power of 13.5 mW (300 oC) is 0.875 in NO gas concentration of 0.046 ppm. In the case of Pt doping, the sensitivity of at power consumption of 5.9 mW (250 oC) was 1.92 at same gas flow rate. The ZnO with doped Pt was showed higher sensitivity, lower working temperature and faster adsorption characteristics to NO gas than pure ZnO thin film. The NO gas sensor integrated SiC micro heater is more strength than others in high voltage and temperature environments.
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D. S. Lee / 1997 / Fabrication and NOx sensing characteristics of WO3 based thick film devices doped with TiO2 and noble metals / J. of the Kor. Sen. Soc 6 (4) : 274 ~ 279
F. Solzbacher / 2001 / A highly stable SiC based microhotplate NO2 gas-sensor / Sen. Actu. B 78 : 216 ~ 220
J. C. Belmonte / 2006 / High-temperature low-power performing micromachined suspended micro-hotplate for gas sensing applications / Sen. Actu. B 114 : 826 ~ 935
J. D. Prades / 2007 / Ab initio study of NOx compounds adsorption on SnO2 surface / Sen. Actu. B 126 : 62 ~ 67
J. Komiyama / 2008 / Polarities of AlN films and underlying 3CSiC intermediate layers grown on(111)Si substrates / J. Cryst. Growth 310 : 96 ~ 100
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