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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
저널정보
한국센서학회 센서학회지 센서학회지 제19권 제4호
발행연도
2010.1
수록면
291 - 296 (6page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

2010

Micro blaster를 이용한 태양전지용 재생웨이퍼의 표면 개선에 관한 연구
이윤호 ,  정동건 ,  조준환 외 4명 한국진공학회 학술발표회초록집 2010.02 학술대회자료
Micro blaster를 이용한 태양전지용 재생웨이퍼의 표면 개선에 관한 연구
이윤호 ,  조준환 ,  김상원 외 4명 센서학회지 2010.01 학술저널

초록· 키워드

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Recently, recycling method of waste wafer has been an area of solar cell to cut costs. Micro_blasting is one of the promising candidates for recycling of waste wafer due to their extremely simple and cost-effective process. In this paper, we attempt to explore the effect of micro_blasting and DRE(damage removal etching) process for solar cell. The optimal process conditions of micro_blasting are as follows: 10 μm sized Al2O3 powder, jetting pressure of 400 kPa, and scan_speed of 30 cm/s. And the particles formed on micro_blasted wafer were removed by DRE precess which was performed by using HNA(HF/HNO3/CH3COOH) and TMAH(tetramethyl ammonium hydroxide). Structural analysis was done using a-step and the XRD patterns.
#solar cell #HNA #DRE #micro blaster #recycled wafer

목차

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H. Y. Park / 2009 / Investigation of improving texturing effect by surface saw damage etching using acidic etchant for silicon solar cells / Solar Energy Materials & Sola google schola 남철우 / 1999 / The present and future of CMP technology / Prospectives of Industrial Chemistry 2 (3) google schola 이규창 / 1994 / 저가,고효율 단결정 실리콘 태양전지의 제조 / 전자공학회 31A (7) : 102 ~ 109 google schola 이윤호 / 2009 / 마이크로 블라스터를 이용한 태양전 지용 재생웨이퍼에 관한 연구 / 전기전자재료학회 22 : 276 ~ google schola 최성호 / 2000 / Recycled Si Wafer를 이용한 태양전지의 제작과 특성 연구 / 센서학회지 9 (1) : 70 ~ 75 google schola

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