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완전 수입에 의존하는 ITO를 대체할 수 있는 FTO 필름에 회로를 형성시킬 수 있는 식각액을 제조하였다. 이 식각액은 불화물 1 ∼ 30량%, 산 1 ∼ 20량%, 계면활성제 0.5 ∼ 5 중량%, 용매제 5 ∼ 20 량%, 부식억제제 0.5 ∼ 10중량%, 나머지는 물로 이루어진다. 이 식각액은 드라이필름을 이용한 식각공정이 가능하여 비용을 절감할 수 있으며, 식각액의 거품발생 및 찌꺼기가 발생하지 않는 특징이 있다. 식각액의 특성은 100nm 두께의 FTO를 2분 만에 식각할 수 있었고 이때 50℃의 식각액 온도를 유지하였다. 2분 식각액에 넣었을 때 –0.00364%의 언더컷을 얻었다. Cd, Pb, Hg, Cr 성분 등의 환경유해물질은 측정되지 않았다. 희토류가 나지 않는 우리나라에서 FTO를 활용하면 국산화 및 수입대체효과를 이룩할 수 있다.
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참고문헌 (16)
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C. Hudaya / 2012 / Effects of process parameters on sheet resistance uniformity of fluorine-doped tin oxide thin films / Nanoscale Research Letters 7:17
Ziad Banyamin / 2014 / Electrical and Optical Properties of Fluorine Doped Tin Oxide Thin Films Prepared by Magnetron Sputtering / Coatings 4(4):732~746
M. L. M. Napi / 2016 / Fabrication of Fluorine doped tin oxide(FTO) thin filmsusing spray pyrolysis deposition method for transparent conducting oxide / ARPN Journal of Engineering and Applied Sciences 11(14):8800~8804
김현 / 2015 / Seed Layers in TiO2 Nanorods on FTO / 한국세라믹학회지 52(1):9~12
S. H. Kim / 2009 / Characterization of thin film Si solar cell with FTO transparent electrode / Proceedings of 2009 Summer Conference of the Korean Institute of Electrical Engineers :1351~1352
Ziad Banyamin / 2014 / Electrical and Optical Properties of Fluorine Doped Tin Oxide Thin Films Prepared by Magnetron Sputtering / Coatings 4(4):732~746
M. L. M. Napi / 2016 / Fabrication of Fluorine doped tin oxide(FTO) thin filmsusing spray pyrolysis deposition method for transparent conducting oxide / ARPN Journal of Engineering and Applied Sciences 11(14):8800~8804
김현 / 2015 / Seed Layers in TiO2 Nanorods on FTO / 한국세라믹학회지 52(1):9~12
S. H. Kim / 2009 / Characterization of thin film Si solar cell with FTO transparent electrode / Proceedings of 2009 Summer Conference of the Korean Institute of Electrical Engineers :1351~1352
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