습식 식각 공정을 이용하여 제작된 광양자테 소자의 특성 분석

김경보; 이종필; 김무진

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자료유형: 학술저널

저자정보: 김경보 이종필 김무진

저널정보: 중소기업융합학회 융합정보논문지 융합정보논문지 제10권 제6호

발행연도: 2020.1

수록면: 28 - 34 (7page)

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본 논문에서는 VCSEL (Vertical Cavity Surface Emitting Laser) 레이저를 만드는 구조와 유사한 GaAs 웨이퍼상에 MOCVD (Metal Organic Chemical Vapor Deposition) 장비로 GaAs와 AlGaAs 에피층을 형성시킨 구조를 사용한다. 3차원 공진현상에 의해 자연 발생되는 광양자테 (PQR: Photonic Quantum Ring) 소자를 건식 식각 방법인 CAIBE (Chemically Assisted Ion Beam Etching) 기술로 제작하였지만, 진공 분위기에서 진행해야 하는 문제점 때문에 저가격으로 쉽게 소자를 제작할 수 있는 방법이 연구되었고, 그 결과 인산, 과산화수소, 메탄올이 혼합된 용액의 습식식각 기술로 가능성을 확인하였으며, 이 방법을 적용하여 소자를 제작한 내용에 대해 논한다. 또한, 제작된 광소자의 스펙트럼을 측정하였고, 이 결과들을 이론적으로 해석하여 얻은 파장값과 비교한다. 광양자테 소자는 3차원 형상으로 세포를 모델링하거나, 디스플레이 분야로의 응용이 가능할 것으로 기대한다.

#Photonic quantum ring device #Wet etching #3 dimensional resonance mode #Spectrum #Wavelength

참고문헌 (16)

참고문헌 신청

C. Gierl / 2011 / Surface micromachined tunable 1.55 μm-VCSEL with 102nm continuous single-mode tuning / Optics Express 19(18):17336~17343

V. Jayaraman / 2012 / High-sweep-rate 1310 nm MEMS-VCSEL with 150 nm continuous tuning range / Electronics Letters 48(14):867~869

K. Iga / 2000 / Surface-emitting laser-its birth and generation of new optoelectronics field / IEEE Journal of Selected Topics in Quantum Electronics 6(6):1201~1215

G. Hasnain / 1991 / Performance of Gain-Guided Surface Emitting Lasers with Semiconductor Distributed Bragg Reflector / IEEE Journal of Quantum Electronics 27(6):1377~1385

J. H. Ser / 1995 / Polarization stabilization of vertical-cavity top-surface-emitting lasers by inscription of fine metal-interlaced gratings / Applied Physics Letters 66(21):2769~2771

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이 논문의 저자 정보

김경보

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이종필

소속기관 중원대학교

주요연구분야 사회과학 > 문헌정보학

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김무진

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