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저널정보
한국마이크로전자및패키징학회 마이크로전자 및 패키징학회지 마이크로전자 및 패키징학회지 제12권 제3호
발행연도
2005.1
수록면
219 - 226 (8page)

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When a ferroelectric film has an inhomogeneous distribution of charged defects, a voltage shift in the polarization curve is induced by the internal field generated in the film. The direction and the magnitude of voltage shift in the P-V hysteresis curves obtained by the Sawyer-Tower method are different from those obtained by the virtual ground method. In this study, the asymmetric behavior in the P-V hysteresis curves of inhomogeneous ferroelectric films was investigated with a physical model and the polarization curves obtained by the Sawyer-Tower and the virtual ground methods are compared.

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