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ALD enabled Functional Nano Thin Films for Improved Performance of Energy Devices
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2020 .06
멀티 슬릿 ALD 헤드를 이용한 저온·상압 원자층 박막 증착 공정 기술 개발
한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집
2017 .04
차세대 인터커넥션 적용을 위한 ALD Ru 금속 박막의 비저항 변화 연구
한국생산제조학회 학술발표대회 논문집
2024 .07
원자층 증착장치에 의한 TiO2 박막 코팅된 폴리머 절연체의 표면 및 전기적 특성의 향상
전기전자재료학회논문지
2016 .01
라인형 플라즈마 소스를 이용한 ALD 공정 연구
반도체디스플레이기술학회지
2016 .01
표면 반응 제어를 통한 영역 선택적 원자층 증착법 연구 동향
한국표면공학회지
2022 .12
ALD를 이용한 ZnO 기반 박막물질의 광전소자로의 응용
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2015 .05
[스웨즈락] 최적의 밸브로 ALD 공정의 정확성 및 일관성 개선하는 방법
전자기술
2023 .04
PA-ALD를 이용한 Al₂O₃ 증착 시 Plasma 노출 시간이 Al₂O₃/Si 계면 특성에 미치는 영향
한국태양에너지학회 학술대회논문집
2018 .04
ALD를 이용한 Al₂O₃ 증착유무에 따른 페로브스카이트 태양전지의 성능비교
한국태양에너지학회 학술대회논문집
2022 .10
저온 증착 된 ZrO₂ ALD 박막의 특성
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2016 .10
박막공정 최적화를 위한 ALD Chamber 내부 열유동 해석
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2023 .11
ALD Al₂O₃ layer 증착에 의한 Sn-3.0Ag-0.5Cu/Cu 접합부 금속학적 및 기계적 특성
대한용접학회 특별강연 및 학술발표대회 개요집
2024 .10
Silane Based Ion Selective Membrane
한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집
2023 .04
ALD 방법으로 증착 한 Al2O3 박막의 두께 및 열처리 온도에 따른 PCE(Power Conversion Efficiency) 효율 및 안정성 분석
대한전기학회 학술대회 논문집
2022 .07
Atomic Layer Deposition for Electrochemical Applications
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2021 .06
Thermal ALD로 증착된 몰리브덴 박막의 증착 특성
대한전자공학회 학술대회
2022 .06
원자층 증착법을 이용한 폴리머 전해질 교환막 연료전지 소재 연구 동향
한국표면공학회지
2025 .02
분말 코팅을 위한 원자층 증착법
한국분말야금학회지
2019 .01
Study on the Nanoscale Behavior of ALD Pt Nanoparticles at Elevated Temperature
Journal of the Korean Society for Precision Engineering
2016 .08
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