Atomic Layer Epitaxy 방법으로 $Al(CH_3)_3$을 사용하여 성장한 $Al_2O_3$ 박막의 특성연구

윤선진 ,  김혜림 ,  이중환 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

1996 .01

비휘발성 메모리 응용을 위한 ALD법을 이용한 Al₂O₃ 절연막의 특성

정순원 ,  이기식 ,  구경완

전기학회논문지

2009 .12

R2R 기반 공간분할형 원자층 증착(ALD) 시스템에 관한 연구

김효태 ,  최경현 ,  양영진 외 3명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2016 .10

결정질 실리콘 태양전지를 위한 PA-ALD Al2O3 막의 패시베이션 효과 향상 연구

송세영 ,  강민구 ,  송희은 외 1명

전기전자재료학회논문지

2013 .01

원자층 증착법(Atomic Layer Deposition)에 의해 성장된 단말장치용 ZnO 투명 전도 박막 특성

박현식

정보 및 제어 논문집

2012 .10

Customized Thermal ALD (Atomic Layer Deposition) System 을 이용한 TiO₂ 박막 증착

박석원 ,  손경식 ,  김준우 외 1명

대한기계학회 춘추학술대회

2012 .11

Atomic Layer Deposition법에 의한 Al-doped ZnO Films의 전기적 및 광학적 특성

안하림 ,  백성호 ,  박일규 외 1명

한국재료학회지

2013 .01

Atomic Layer Epitaxy를 이용한 Al2O3 유전 박막의 성장과 박막 특성의 연구

윤선진 ,  강정숙 ,  남상두 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1998 .01

Al-Al2O3-Al 박막구조의 전기적 특성

성영권 ,  민남기

대한전자공학회 학술대회

1978 .01

Al-Al2O3-Al 박막구조의 전기적 특성

성영권 ,  민남기

대한전자공학회 심포지엄 논문집

1978 .01

결정질 실리콘 태양전지를 위한 PA-ALD Al₂O₃ 막의 신뢰성 연구

신경철 ,  강민구 ,  이정인 외 2명

한국태양에너지학회 학술대회논문집

2015 .03

전자 사이클로트론 공명 플라즈마와 열 원자층 증착법으로 제조된 Al₂O₃ 박막의 물리적·전기적 특성 비교

양대규 ,  김양수 ,  김종헌 외 2명

한국재료학회지

2017 .01

Influence of the O/Al ratio on the properties of Al₂O₃ barrier layers deposited by plasma-enhanced atomic layer deposition

이종걸 ,  김성수

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2013 .10

STABILITY of Al₂O₃ THIN FILM DEPOSITED by PLASMA-ASSISTED ATOMIC LAYER DEPOSITION in CRYSTALLINE SILICON SOLAR CELL

Kyoung Cheol Shin ,  Se Young Song ,  Min Gu Kang 외 3명

한국신·재생에너지학회 학술대회 초록집

2014 .11

원자층증착 기술: 개요 및 응용분야

신석윤 ,  함기열 ,  전희영 외 3명

한국재료학회지

2013 .01

유한요소 해석을 이용한 박막 고속 증착용 ALD장비 최적설계

홍경표 ,  정명희 ,  류태영 외 6명

대한기계학회 춘추학술대회

2017 .04

Non-saturated Atomic Layer Deposition for Composition Adjustment in $Al_2O_3-HfO_2$ Thin Films

정회성 ,  김지헤 ,  강상원

한국재료학회 학술발표대회

2007 .01

원자 단위 생산 기술로서의 ALD 공정 고찰

심준형

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2011 .10

Role of a PVA layer During lithography of SnS₂ thin Films Grown by Atomic layer Deposition

Ham ,  Giyul ,  Shin 외 7명

반도체디스플레이기술학회지

2018 .01