ALD enabled Functional Nano Thin Films for Improved Performance of Energy Devices

권세훈

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2020 .06

표면 반응 제어를 통한 영역 선택적 원자층 증착법 연구 동향

고은총 ,  안지상 ,  한정환

한국표면공학회지

2022 .12

ALD공정을 이용한 페로브스카이트 태양전지 대기 안정성 개선 방안 연구

한동현 ,  백승재 ,  김규민 외 3명

대한전기학회 학술대회 논문집

2022 .07

지속가능한 반도체 ALD 공정챔버의 가스유동장 수치해석

유경훈 ,  송근수 ,  김춘식 외 4명

대한설비공학회 학술발표대회논문집

2023 .06

ALD 공정에 따른 그래핀 에어로젤의 열전도도 변화

한승훈 ,  김덕종

대한기계학회 춘추학술대회

2022 .11

Atomic Layer Deposition for Electrochemical Applications

이우재 ,  Susata Be ,  aa 외 1명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2021 .06

멀티 슬릿 ALD 헤드를 이용한 저온·상압 원자층 박막 증착 공정 기술 개발

김현범 ,  이재욱 ,  양성욱 외 2명

한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집

2017 .04

라인형 플라즈마 소스를 이용한 ALD 공정 연구

권기청 ,  조태훈 ,  최진우 외 3명

반도체디스플레이기술학회지

2016 .01

반도체 ALD 공정챔버의 마이크로 공정갭 가스유동장 설계

유경훈 ,  송근수 ,  김춘식 외 4명

대한설비공학회 학술발표대회논문집

2024 .06

분말 코팅을 위한 원자층 증착법

최석 ,  한정환 ,  최병준

한국분말야금학회지

2019 .01

Study on the Nanoscale Behavior of ALD Pt Nanoparticles at Elevated Temperature

안지환

Journal of the Korean Society for Precision Engineering

2016 .08

차세대 인터커넥션 적용을 위한 ALD Ru 금속 박막의 비저항 변화 연구

조인호 ,  이승훈 ,  황해인 외 2명

한국생산제조학회 학술발표대회 논문집

2024 .07

박막공정 최적화를 위한 ALD Chamber 내부 열유동 해석

이승헌 ,  송동근 ,  김정수 외 4명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2023 .11

원자층 증착법을 이용한 폴리머 전해질 교환막 연료전지 소재 연구 동향

신예원 ,  한유리 ,  이우재

한국표면공학회지

2025 .02

저온 증착 된 ZrO₂ ALD 박막의 특성

양병찬 ,  안지환 ,  신정우

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2016 .10

ALD를 이용한 ZnO 기반 박막물질의 광전소자로의 응용

이우재 ,  윤은영 ,  권정대 외 1명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2015 .05

경질코팅막의 물리/화학적 특성 개선을 위한 ALD-interfacial Layer 응용

만지흠 ,  김광호 ,  권세훈

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2017 .11

TiO₂ ALD 를 통한 PEMFC 의 내구성 향상

심정우 ,  심준형

대한기계학회 춘추학술대회

2022 .04

원자층 증착장치에 의한 TiO2 박막 코팅된 폴리머 절연체의 표면 및 전기적 특성의 향상

박용섭 ,  김남훈

전기전자재료학회논문지

2016 .01

ALD-assisted Hybrid Processes for improved Corrosion Resistance of Hard coatings

Zhixin Wan ,  Se-Hun Kwon

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2016 .11