지원사업
학술연구/단체지원/교육 등 연구자 활동을 지속하도록 DBpia가 지원하고 있어요.
커뮤니티
연구자들이 자신의 연구와 전문성을 널리 알리고, 새로운 협력의 기회를 만들 수 있는 네트워킹 공간이에요.
이용수
등록된 정보가 없습니다.
논문 유사도에 따라 DBpia 가 추천하는 논문입니다. 함께 보면 좋을 연관 논문을 확인해보세요!
Thermal ALD로 증착된 몰리브덴 박막의 증착 특성
대한전자공학회 학술대회
2022 .06
멀티 슬릿 ALD 헤드를 이용한 저온·상압 원자층 박막 증착 공정 기술 개발
한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집
2017 .04
PA-ALD를 이용한 Al₂O₃ 증착 시 Plasma 노출 시간이 Al₂O₃/Si 계면 특성에 미치는 영향
한국태양에너지학회 학술대회논문집
2018 .04
ALD enabled Functional Nano Thin Films for Improved Performance of Energy Devices
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2020 .06
ALD를 이용한 Al₂O₃ 증착유무에 따른 페로브스카이트 태양전지의 성능비교
한국태양에너지학회 학술대회논문집
2022 .10
Silane 기반 유기물을 이용한 ALD Al₂O₃ 박막의 열화방지
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2018 .11
저온 증착 된 ZrO₂ ALD 박막의 특성
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2016 .10
원자층 증착법을 이용한 폴리머 전해질 교환막 연료전지 소재 연구 동향
한국표면공학회지
2025 .02
표면 반응 제어를 통한 영역 선택적 원자층 증착법 연구 동향
한국표면공학회지
2022 .12
Atomic Layer Deposition for Electrochemical Applications
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2021 .06
원자층 증착장치에 의한 TiO2 박막 코팅된 폴리머 절연체의 표면 및 전기적 특성의 향상
전기전자재료학회논문지
2016 .01
R2R 기반 공간분할형 원자층 증착(ALD) 시스템에 관한 연구
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2016 .10
Effect of Deposition Temperature on Mechanical Properties of Freestanding ALD Al₂O₃ Thin Films
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2019 .05
Study on the Nanoscale Behavior of ALD Pt Nanoparticles at Elevated Temperature
Journal of the Korean Society for Precision Engineering
2016 .08
High-k Thin Films by Atomic Layer Deposition for Energy and Information Storage
Journal of the Korean Society for Precision Engineering
2018 .12
라인형 플라즈마 소스를 이용한 ALD 공정 연구
반도체디스플레이기술학회지
2016 .01
Effect of PCE superplasticizers on rheological and strength properties of high strength self-consolidating concrete
Advances in concrete construction
2018 .01
ALD로 저온에서 증착된 TiO2 박막의 막질에 대한 연구
마이크로전자 및 패키징학회지
2016 .01
차세대 인터커넥션 적용을 위한 ALD Ru 금속 박막의 비저항 변화 연구
한국생산제조학회 학술발표대회 논문집
2024 .07
유한요소 해석을 이용한 박막 고속 증착용 ALD장비 최적설계
대한기계학회 춘추학술대회
2017 .04
0