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논문 기본 정보

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학술저널
저자정보
이기성 (서울과학기술대학교) 이재원 (중원대학교) 김용성 (서울과학기술대학교)
저널정보
한국청정기술학회 청정기술 청정기술 제24권 제3호
발행연도
2018.9
수록면
175 - 182 (8page)

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본 연구에서는 유동박리공정에서 개발된 수계박리액의 수분함유량의 최적화를 통한 청정성을 연구하였다. 감광제 박리 특성을 상용 유기계 박리액과 비교 고찰하였다. 박리성능은 감광제의 패터닝 전 투명전극샘플과 코팅된 샘플을 박리 한 후의 투명전극표면에서의 전기 및 광학적 특성의 평가를 통해 비교 하였다. 상용화된 유기계 박리액과 수분함유량이 최적화된 수계 박리액의 감광제박리 공정 결과 수계박리액이 유기계 박리액보다 동등 이상의 우수한 전기 및 광학적 특성 결과를 나타내었다. 유동 박리공정에서 유기계 박리액은 박리 중 감광제가 용해되어 박리액내부로 용해가 된 반면, 개발 중인 수계박리액은 용제에 포함된 cyclodextrin에 의한 감광제 포집으로 박리액의 감광제 용해 감소의 효과가 나타난 것으로 판단된다. 이러한 박리 메커니즘의 차이에 의한 박리공정 후 유기계와 수계 박리액의 청정성을 비교 분석하였다.
#수계박리액 #감광제 #박리공정 #스웰링 #포토리소그래피 #Aqueous stripper #Photoresist #Stripping process #Swelling #Photo-lithography #Cyclodextrin

목차

요약
Abstract
1. 서론
2. 실험방법
3. 결과 및 고찰
4. 결론
References

참고문헌 (15)

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[인터넷자원] - / / https://www.marketsandmarkets.com/Market-Reports/displaymarket-925.html google schola [학술지(정기간행물)] - Blaikie, R. J. / 2006 / Super-Resolution Near-Field Lithography Using Planar Silver Lenses: A Review of Recent Developments / Microelectronic Eng. 83 (4-9) : 723 ~ 729 Crossref [학술지(정기간행물)] - 박승현 / 2012 / 반도체 제조 공정에서 발생 가능한 부산물 / 한국산업보건학회지 22 (1) : 52 ~ 59 google schola [인터넷자원] - / / http://k2b.kosha.or.kr/html/hmEnforcement.html google schola [학술지(정기간행물)] - Zhang, S. / 2016 / Water Stability and Orthogonal Patterning of Flexible Micro-Electrochemical Transistors on Plastic / J. Mater. Chem. C 4 : 1382 ~ 1385 Crossref

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