메뉴 건너뛰기
.. 내서재 .. 알림
소속 기관/학교 인증
인증하면 논문, 학술자료 등을  무료로 열람할 수 있어요.
한국대학교, 누리자동차, 시립도서관 등 나의 기관을 확인해보세요
(국내 대학 90% 이상 구독 중)
로그인 회원가입 고객센터 ENG
주제분류
인문학
인문학 일반 역사학 철학 종교학 어문학 기타 인문학
사회과학
사회과학 일반 경영학 관광학 교육학 군사학 문헌정보학 법학 사회학 신문방송학 심리과학 정치외교학 지리학 행정학 경제학 무역학 인류학 기타 사회과학
자연과학
자연과학 일반 물리학 생물학 생활과학 수학·통계학 천문학 지구과학 화학 기타 자연과학
공학
공학 일반 건축공학 기계공학 산업공학 재료·에너지공학 전기전자공학 조선해양공학 화학공학 컴퓨터학 기타공학
의약학
의학 일반 간호학 수의학 약학 한의학 기초의학 임상의학 기타 의약학
농수해양학
농수해양학 일반 농학 수산학 식품과학 임학 축산학 해상운송학 기타 농수해양학
예술체육학
예술 일반 디자인 미술 미용 사진 음악학 의상 체육 공연매체예술 기타 예술체육학
복합학
학제간연구 과학기술학 뇌인지과학 기술정책 기타 복합학

ENG

추천
검색
질문

논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
이기성 (Seoul National University of Science & Technology) 전진우 (Seoul National University of Science & Technology) 손지영 (Seoul National University of Science & Technology) 김준현 (Seoul National University of Science & Technology) 주기태 (Seoul National University of Science & Technology) 정병현 (Eotech) 이대원 (DS Techopia) 김용성 (Seoul National University of Science & Technology)
저널정보
한국생산제조학회 한국생산제조학회지 한국생산제조학회지 Vol.27 No.2
발행연도
2018.4
수록면
154 - 159 (6page)
DOI
10.7735/ksmte.2018.27.2.154

이용수

표지
📌
연구주제
📖
연구배경
🔬
연구방법
🏆
연구결과
AI에게 요청하기
추천
검색
질문

초록· 키워드

오류제보하기
In this research, we studied the cleanliness of a developed aqueous stripper with optimized mixing ratio of the water and solute components. The stripping properties of an organic stripper were compared with those of the aqueous stripper, and the electrical and optical properties of the stripped specimen with a coated ITO film layer on glass were evaluated. From the result of the PR stripping process of the aqueous stripper with optimized water content and organic stripper, the aqueous stripper showed equal or better stripping capability than the organic stripper. In the case of the aqueous stripper, PR was floating in the stripper liquid through swelling and tearing, whereas the organic stripper showed dissolution of PR into the stripper liquid. Based on the difference in stripping mechanism between the organic and aqueous strippers, we estimated greenhouse gas (GHG) emissions and the amount of wastes in each stripper.
#Aqueous stripper #ITO-Glass #Dipping #Photoresist #Stripping process #Swelling

목차

ABSTRACT
1. 서론
2. 실험방법
3. 결과 및 고찰
4. 결론
References

참고문헌 (12)

참고문헌 신청
[학술지(정기간행물)] - Gilles, D. G. / 1994 / Waste Generation and Minimization in Semiconductor Industry / Journal of Environmental Engineering 120 (1) : 72 ~ 86 Crossref [학술지(정기간행물)] - Suja, F. / 2009 / Contamination, Bioaccumulation and Toxic Effects of Perfluorinated Chemicals (PFCs) in the Water Environment: A Review Paper / Water Science and Technology 60 (6) : 1533 ~ 1544 Crossref [학술지(정기간행물)] - Chatzichristidi, M. / 2008 / Aqueous Base Developable: Easy Stripping, High Aspect Ratio Negative Photoresist for Optical and Proton Beam Lithography / Microsyst Technol 14 : 1423 ~ 1428 Crossref [학술지(정기간행물)] - 박노형 / 2013 / 생분해성 고분자의 산업동향과 전망 / 생체재료학회지 17 (3) : 114 ~ 120 dbpia [학술지(정기간행물)] - 김준현 / 2017 / 노즐 분사 방식의 ITO 표면 포토레지스트 박리과정 요인의 수치해석 / 한국생산제조학회지 26 (2) : 158 ~ 165 dbpia

함께 읽어보면 좋을 논문

논문 유사도에 따라 DBpia 가 추천하는 논문입니다. 함께 보면 좋을 연관 논문을 확인해보세요!

이 논문의 저자 정보

이 논문과 함께 이용한 논문

Electrochemical etching technique: Comparison of tungsten probe with controllable tip probe by using two solutions NaoH and KOH.
Bishwa Chand ,  a Adhika ,  i 외 3명 한국진공학회 학술발표회초록집 2018 .02
의료용 임플란트를 위한 전기화학적 나노 표면처리기술
김두헌 ,  방강미 ,  이경희 외 3명 한국표면공학회 학술발표회 초록집 2017 .11
전기화학적 임플란트 표면처리기술
김두헌 한국표면공학회 학술발표회 초록집 2016 .05
디스플레이 공정용 수계 박리액의 포토레지스트박리 조건 최적화 및 환경성 연구
이기성 ,  오홍준 ,  김용성 한국생산제조학회지 2019 .04

최근 본 자료

전체보기

댓글(0)

0

UCI(KEPA) : I410-ECN-0101-2018-003-001851510