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학술저널
저자정보
김준현 (Seoul National University of Science & Technology) 고형호 (Seoul National University of Science & Technology) 이기성 (Seoul National University of Science & Technology) 주기태 (Seoul National University of Science & Technology) 김용성 (Seoul National University of Science & Technology)
저널정보
한국생산제조학회 한국생산제조학회지 한국생산제조학회지 Vol.27 No.1
발행연도
2018.2
수록면
27 - 34 (8page)
DOI
10.7735/ksmte.2018.27.1.27

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Chemical stripping mechanisms are important because they are fundamentally involved in the rate of reaction of bonding and decomposition of materials. The stripping mechanism of a spray technology penetrates or removes a photoresist (PR) material on the indium tin oxide surface. It is the impact force produced by the velocity and mass of the stripper reaching the surface. The mechanisms in which a PR material is agitated or removed by proper liquid movement are dependent on material properties (e.g., viscosity) and conditions (e.g., temperature). Simple tests and numerical analysis have been conducted to determine the performance of a spray on PR materials exposed to a solution-type special stripper. The results performed to compare the impact force as varied by nozzle shape, spray distance, velocity, and flow rate to determine the relationship of the impact force to the performance in material removal.
#Aqueous stripper #ITO-Glass #Nozzle #Photoresist #Spray #Stripping process

목차

ABSTRACT
1. 서론
2. 노즐의 선택 및 적용범위
3. 박리용액의 사용범위
4. 수치 해석 방법 및 결과
5. 결론
References

참고문헌 (11)

참고문헌 신청
Moore, J. C. / 2002 / Successful Photoresist Removal: Incorporating Chemistry, Conditions, and Equipment / Proc. SPIE 4690, Advances in Resist Technology and Processing XIX :892~903 google schola 김준현 / 2016 / Dip 추출에서 유체 표면의 영향을 고려한 친환경 포토레지스트 박리공정 / 한국생산제조학회지 25(1):14~20 dbpia 김준현 / 2016 / 딥핑 방식을 이용한 ITO 표면의 효율적인 포토레지스트 박리공정 / 한국생산제조학회지 25(4):281~289 dbpia 김준현 / 2017 / 노즐 분사 방식의 ITO 표면 포토레지스트 박리과정 요인의 수치해석 / 한국생산제조학회지 26(2):158~165 dbpia Nakahara, H. / 2004 / Photoresist Stripping Composition and Process for Stripping Resist, US Patent: 6815150 google schola

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