Development of a low-foaming resist stripper containing block copolymer

천지훈; 정경옥; 김진백

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 천지훈 (한국과학기술원) 정경옥 (한국과학기술원) 김진백 (한국과학기술원)

저널정보: 한국고분자학회 한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집 한국고분자학회 2016년도 춘계학술대회 연구논문 초록집 제41권 제1호

발행연도: 2016.4

수록면: 124 - 124 (1page)

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UCI(KEPA) : I410-ECN-0101-2016-578-002691687

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	저자 메타	소속기관, 소속부서, 직급, 연구분야, 연구키워드, 이용수, 피인용수, 저자 논문활용도

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