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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 2018.2
- 수록면
- 57 - 62 (6page)
- DOI
- 10.7735/ksmte.2018.27.1.57
이용수
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A through-mask electrochemical etching process involves a selective metal removal process from unprotected areas of a patterned workpiece. A protective mask such as a photo-mask is used in through-mask electrochemical etching. The deposited layer with micro patterns can be fabricated by laser beam irradiation. The deposited layer with micro patterns can act as a protective mask during electrochemical etching. The characteristics of deposited layer with micro patterns are investigated according to the electrodeposition and laser beam conditions. The experimental results were observed by SEM (scanning electron microscope), EDS (energy dispersive spectrometry), and surface profile analysis. Consequently, selective electrochemical etching using the deposited layer was successfully achieved.
목차
ABSTRACT
1. 서론
2. 실험 장치 및 방법
3. 전해도금 특성
4. 레이저 패터닝
5. 전해도금층을 이용한 전해에칭
6. 결론
References
참고문헌 (8)
참고문헌 신청
[단행본] - Madou, M. J. / 2002 / Fundamental of Microfabrication / CRC Press LLC
[학술지(정기간행물)] - Datta, M. / 2000 / Fundamental Aspects and Applications of Electrochemical Microfabrication / Electrochim. Acta. 45 : 2535 ~ 2558
[학술지(정기간행물)] - Datta, M. / 1997 / Electrochemical Micromachining: An Environmentally Friendly, High Speed Processing Technology / Electrochim. Acta. 42 (20-22) : 3007 ~ 3013
[학술지(정기간행물)] - Madore, C. / 1997 / Electrochemical Micromachining of Controlled Topographies on Titanium for Biological Applications / J. Micromech. Microeng. 7 : 270 ~ 275
[학술지(정기간행물)] - Chauvy, P. F. / 2003 / Electrochemical Micromachining of Titanium Using Laser Oxide Film Lithography: Excimer Laser Irradiation of Anodic Oxide / Appl. Surf. Sci. 211 : 113 ~ 127
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