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Wafer Center Alignment System for Wafer Transfer Robot based on Reduced Number of Sensors
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2022 .10
비전 얼라이먼트 유닛의 다중 웨이퍼 위치 조정을 위한 비전 알고리즘에 관한 연구
Proceedings of KIIT Conference
2021 .06
웨이퍼 수율 향상을 위한 비전 검사 시스템
Proceedings of KIIT Conference
2023 .11
영상처리 기반 웨이퍼 이송 위치 정밀 측정 시스템 개발
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2023 .05
Automated System for Cleaning Semiconductor Wafer
한국정보기술학회논문지
2024 .09
반도체 웨이퍼의 온도 측정에 관한 연구
대한설비공학회 학술발표대회논문집
2015 .06
박판 웨이퍼의 적재 시 손상 최소화 기술
한국산학기술학회 논문지
2021 .01
웨이퍼 배치 구조를 갖는 CVD 챔버 내부의 유동 분석
대한기계학회 논문집 B권
2018 .01
웨이퍼 이송시 스크래치 방지를 위한 웨이퍼이송로봇 기울기 보정에 관한 연구
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2024 .11
고비용 반도체 기판의 재활용 및 광전기화학전지 응용 기술
한국태양에너지학회 학술대회논문집
2024 .10
반도체 공정에서의 Wafer Map Image 분석 방법론
대한산업공학회지
2015 .06
Sensor Calibration Algorithm for Precise Wafer Center Alignment of Semiconductor Coater/Developer Equipment Transfer Robots
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2024 .11
다중 분리 처리 로봇 기반 웨이퍼 클리닝 시스템 개발
Proceedings of KIIT Conference
2022 .12
웨이퍼 이송 로봇 고장진단 및 분류에 관한 연구
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2024 .11
Optimal Selection of n-Type Wafer Resistivity and Lifetime for Industrial High-Efficiency Silicon Solar Cells
한국태양에너지학회 학술대회논문집
2024 .10
Planetary 형 반응기에서 웨이퍼와 기판 사이의 틈새가 웨이퍼 온도에 미치는 영향에 대한 연구
반도체디스플레이기술학회지
2017 .01
웨이퍼 품질 분류를 위한 결함 맵 노이즈 제거 알고리즘 개발
한국생산제조학회 학술발표대회 논문집
2024 .12
진공 챔버에서 사용되는 이송 로봇의 웨이퍼 슬립 보상을 위한 웨이퍼 슬립 측정 방법
제어로봇시스템학회 국내학술대회 논문집
2023 .06
데이터 전처리를 통한 웨이퍼 맵 분석 최적화
한국정보과학회 학술발표논문집
2024 .06
웨이퍼 다이 시프트 비전 검사를 위한 스캐닝 시스템 최적화
한국생산제조학회 학술발표대회 논문집
2017 .04
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