반도체 웨이퍼 절단장비 전용 스핀들 주축 유로에 의한 구조 안정성 분석

서영재 ,  김봉고 ,  황종운 외 1명

한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집

2022 .12

반도체산업에서의 CFD

김성협

한국전산유체공학회 학술대회논문집

2023 .05

반도체 제작을 위한 웨이퍼 배치 내부 유동 분석

강승환 ,  손동기 ,  고한서

한국전산유체공학회 학술대회논문집

2017 .11

반도체 웨이퍼의 온도 측정에 관한 연구

이욱현 ,  조종표 ,  정학근 외 2명

대한설비공학회 학술발표대회논문집

2015 .06

공작기계 스핀들 부하를 이용한 비절삭 저항 예측

김재혁 ,  김승기 ,  이동윤

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2017 .12

스핀들 유닛 능동제어기 설계를 위한 스핀들 상태모니터링 장치에 관한 연구

신희준 ,  안대건 ,  박황재 외 3명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2015 .12

내부 쿨링 시스템을 갖춘 고속 스핀들의 열특성에 관한 연구

박상현 ,  이종찬 ,  우봉근 외 1명

한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집

2017 .04

스핀들 이상진단 알고리즘 개발에 관한 연구

박병희 ,  이창우

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2017 .05

스핀들 부하를 통한 절삭력 추정에 관한 연구

김재혁 ,  박경희 ,  이동윤

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2017 .05

효율적 모델링 방법을 이용한 스핀들 설계에 관한 연구

배규현 ,  홍성욱 ,  황주호

한국생산제조학회 학술발표대회 논문집

2015 .04

빌트 인 모터 구동 스핀들의 베어링 냉각 구조에 관한 연구

김상원 ,  김기정

한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집

2015 .04

3세대 반도체 웨이퍼 검사장비 Probe Station 핵심 부품 구조해석

최현진 ,  정용민 ,  서영재

한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집

2022 .04

웨이퍼 배치 구조를 갖는 CVD 챔버 내부의 유동 분석

강승환 ,  이재원 ,  고한서

대한기계학회 논문집 B권

2018 .01

4축 스핀들 공작기계의 온도분포에 대한 연구

김수태 ,  주경진 ,  최대봉

한국생산제조학회 학술발표대회 논문집

2017 .12

A New Paradigm for Future Semiconductor Equipment

Sukwon Lee

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2023 .11

CFD를 활용한 액침 냉각식 배터리 모듈의 냉각 성능 개선에 대한 연구

박인상 ,  최해찬 ,  민경덕

한국자동차공학회 춘계학술대회

2023 .05

특수절삭 가공을 위한 소형 앵글 스핀들 개발 연구

이진수 ,  이지웅 ,  배현준 외 3명

한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집

2022 .12

상용 제어기에서 다중 스핀들 제어 구현

강유수 ,  조정훈

한국생산제조학회 학술발표대회 논문집

2024 .07

소형 타입 90° 더블 트원 앵글 스핀들 제작

이진수 ,  이지웅

한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집

2022 .04

혼류 공정을 위한 반도체 제조 장비 내 웨이퍼 투입 순서 결정

김홍연 ,  이준호 ,  김현정

대한산업공학회 추계학술대회 논문집

2023 .11