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이종물질 삽입을 통한 구리 후박의 응력제어에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2018 .02
플라즈마 전기적 진단 기술
한국진공학회 학술발표회초록집
2016 .02
캐패시턴스 변화를 이용한 진공 플라즈마 실시간 진단 기술
한국진공학회 학술발표회초록집
2018 .08
구리 극박막 증착 기술에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2019 .08
라디오파 마그네트론 스퍼터링으로 성장한 CaWO₄:Dy3+ 박막의 광학, 구조, 표면 특성
새물리
2023 .10
마스크 제어를 이용한 선형적인 두께 기울기를 갖는 다층박막거울 제작
한국진공학회 학술발표회초록집
2015 .02
컴퓨터 기반 플라즈마 진단 기술
한국진공학회 학술발표회초록집
2016 .02
N₂ 분위기에서 RF Magnetron Sputtering을 이용하여 제작된 TiAlNX박막의 열처리 온도에 따른 박막 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2018 .02
플라즈마 식각처리 유무에 따른 산화물 박막의 광촉매 표면 특성 분석
한국진공학회 학술발표회초록집
2015 .02
Sputtering 공정 중 발생 된 in-film defect 분석 방법
한국진공학회 학술발표회초록집
2017 .02
What do we know about plasma?
한국진공학회 학술발표회초록집
2020 .02
플라즈마 기술의 상업화 사례
진공이야기
2018 .12
SiO₂ 원자층 식각에서 인가 전력 공정 윈도우와 플라즈마 활성종 간 상관관계
한국진공학회 학술발표회초록집
2020 .08
증착 공정시 실시간 두께 측정 및 박막 물성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2015 .02
플라즈마 분광 진단 기술
한국진공학회 학술발표회초록집
2016 .02
RF 마그네트론 CO-Sputtering 시스템을 이용하여 증착된 TiAlNX 박막의 최적 공정 및 박막 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2017 .02
플라즈마 방출광 진단을 이용한 플라즈마 진단 및 제어에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2016 .02
RF 마그네트론 스퍼터링법으로 제작한 이산화티타늄 박막의 표면 및 광학적 특성
새물리
2020 .07
박막의 공정에 따른 박막의 전자기파 차폐 효과 연구
한국분석과학회 학술대회
2022 .11
Fluorocarbon 플라즈마 물성 데이터 complete-set의 개발: 수치적 최적화 및 압축
한국진공학회 학술발표회초록집
2019 .08
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