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박혜진 (광운대학교) 최진우 (광운대학교) 조태훈 (광운대학교) 차성덕 (원우시스템즈) 우원균 (원우시스템즈) 황상혁 (광운대학교) 박종인 (광운대학교) 윤명수 (광운대학교) 권기청 (광운대학교)
저널정보
한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제48회 동계정기학술대회초록집
발행연도
2015.2
수록면
326 - 326 (1page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

2015

ITO 박막 증착 공정시 발생하는 실시간 플라즈마 광 측정 및 산소가스유량제어
박혜진 ,  최진우 ,  조태훈 외 4명 한국진공학회 학술발표회초록집 2015.08 학술대회자료
증착 공정시 실시간 두께 측정 및 박막 물성 연구
박혜진 ,  최진우 ,  조태훈 외 6명 한국진공학회 학술발표회초록집 2015.02 학술대회자료

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#실시간 박막 두께 측정 #ITO(Indium Tin Oxide) #Sputtering

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