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질소 마이크로웨이브 플라즈마에서 anatase TiO₂ 산화물의 표면 개질에 따른 물리적 특성 및 광촉매 특성의 변화
한국진공학회 학술발표회초록집
2018 .02
SiO2 and TiO2 thin film deposited by DC pulsed magnetron sputtering with the process variable working pressure
한국진공학회 학술발표회초록집
2018 .08
C4F8/Ar 플라즈마를 이용한 SiO2 원자층 식각에서 활성종 구성 비율에 따른 식각 특성 분석
한국진공학회 학술발표회초록집
2019 .08
Fabrication of TiO2 thin films for perovskite solar cell using RF magnetron sputter
한국진공학회 학술발표회초록집
2016 .02
N₂ 분위기에서 RF Magnetron Sputtering을 이용하여 제작된 TiAlNX박막의 열처리 온도에 따른 박막 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2018 .02
RF Magnetron Sputtering를 이용한 a축 ZnO:Al 박막의 구조적, 전기적 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2015 .02
WO₃/TiO₂ 광촉매를 이용한 폼알데하이드 제거특성 연구
한국대기환경학회 학술대회논문집
2023 .10
RF magnetron sputtering과 O₂ plasma ashing 공정을 이용한 다공성 구조 박막 제작 및 특성 분석
한국진공학회 학술발표회초록집
2018 .02
RF magnetron sputtering법으로 제작된 IGZO 박막의 Annealing 변화에 따른 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2015 .08
Enhanced efficiency of perovskite solar cell by application of uniform TiO₂ blocking layer deposited by RF magnetron sputtering
한국진공학회 학술발표회초록집
2017 .02
SiO₂ 원자층 식각에서 인가 전력 공정 윈도우와 플라즈마 활성종 간 상관관계
한국진공학회 학술발표회초록집
2020 .08
RF 마그네트론 스퍼터링법으로 제작한 이산화티타늄 박막의 표면 및 광학적 특성
새물리
2020 .07
고효율 이종접합 태양전지를 위한 RF magnetron sputter로 증착한 ITO:Zr 박막에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2015 .02
Properties of ZnO:Ga thin films deposited by RF magnetron sputtering under various RF power
Applied Science and Convergence Technology
2015 .11
N₂ 분위기에서 RF magnetron sputtering 방법으로 증착된 TiN박막의 열처리 온도에 따른 내마모 특성 및 표면구조특성 분석
한국진공학회 학술발표회초록집
2016 .02
Optical and electrical properties of TiO₂/Ag/TiO₂ multilayer for near infrared reflective coating by magnetron sputtering
한국진공학회 학술발표회초록집
2016 .08
Crystal Properties of TiO2 Thin Films Grown at Low Temperatures by Reactive DC Magnetron Sputtering
새물리
2019 .02
C4F8/Ar 플라즈마를 이용한 SiO2 원자층 식각의 SiO2 두께 변화 해석 모델
한국진공학회 학술발표회초록집
2020 .02
조절된 밀도를 갖는 다중층 WOx 전극을 이용한 리튬-이온 전지 성능 향상
한국진공학회 학술발표회초록집
2018 .02
Structural and morphological properties change of Zn and Sn thin films by sputter time
한국진공학회 학술발표회초록집
2017 .02
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