The fabrication of temperature & impedance sensor using KOH wet etching

유태균 ,  황신애 ,  김은섭 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2017 .08

Fabrication of two-terminal capacitor-less memory from thyristor structure with p-type etching stop layer

Jisoo Yoo ,  Gyujin Oh ,  Seung-Hyun Song 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2018 .02

Fabrication of GaN Ring Structure with Broad-band Emission Using MOCVD and Wet Etching Techniques

Young-Chul Sim ,  Seung-Hyuk Lim ,  Yong-Hoon Cho

한국진공학회 학술발표회초록집

2016 .02

Atomic layer etching of SiO₂ with low-global warming potential C₄H₃F₇O isomers

Yongjae Kim ,  Yebin Lee ,  Seonghyeon Lee 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2021 .02

습식패턴 에칭공정에 의한 Anti Glare 표면형상 제어

심명보 ,  전법주

한국진공학회 학술발표회초록집

2017 .02

Cryogenic Etching in Advanced Electronics Manufacturing: Applications and Challenges

Kyongnam Kim

Applied Science and Convergence Technology

2024 .09

In-situ magnetization measurements and ex-situ morphological analysis of electrodeposited cobalt onto chemical vapor deposition graphene/SiO₂/Si

F ,  anco ,  Vinicius C. De 외 10명

Carbon letters

2017 .01

Si Nanowall formation by maskless wet-etching using an ultrafast laser irradiation

이시우 ,  조국현 ,  채상민 외 4명

한국진공학회 학술발표회초록집

2018 .02

Parametrized Phase Shift Model Analysis for 350 MeV ⁷Li Elastic Scattering on ¹²C and ²⁸Si

Yong Joo Kim

새물리

2020 .01

Characterization of ultra sharp W tips for field emission electron beam by using etching solution NaOH and KOH

Bishwa Chand ,  a Adhika ,  i 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2018 .08

Influence of etchant concentration on fabrication of Si nanostructure by gold-assisted chemical etching

Chinathun PINMING ,  Winadda WONGWIRIYAPAN ,  Mayu 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2016 .08

원자층 식각기술

염근영

한국진공학회 학술발표회초록집

2015 .02

C₃F₆O 가스를 이용한 SiO₂에 대한 식각 특성 분석

김선웅 ,  양경채 ,  이호석 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2017 .08

Development of Low Damage Dry Etch to Pattern Sub-10 nm with ACL and High-χ BCP mask

오지수 ,  김교운 ,  신예지 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2019 .08

Quantitative control of the surface chemistry of magnetron-deposited silicon nitride etched with various wet treatments

Ma ,  ine BRUNET ,  Damien AUREAU 외 7명

한국진공학회 학술발표회초록집

2016 .08

Effects of pulsed inductively coupled Cl₂/Ar plasma for the etching of Si nanostructure

신예지 ,  김교운 ,  김희주 외 4명

한국진공학회 학술발표회초록집

2020 .02

식각된 LED의 식각 깊이와 식각 각도가 광 추출 효율에 미치는 영향

권기영 ,  기장근

새물리

2020 .10

Pulsed Inductively Coupled Plasma를 이용한 Si nanostructure 식각 특성

신예지 ,  김희주 ,  김교운 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2019 .08

Applications of fluid based plasma simulation : dry etch

주정훈

한국진공학회 학술발표회초록집

2018 .02

Etching for Vertical Sidewall Formation in TiO₂ Nanorods

Minsu Pa ,  k ,  Ilsun Yoon 외 2명

Applied Science and Convergence Technology

2022 .09