통합화된 반도체 공정 시뮬레이션 환경 구축에 관한 연구

이준화 ,  이흥주

한국산학기술학회 학술대회논문집

2004 .06

연속 이온 주입 공정 모델링 및 시뮬레이션

손명식 ,  박수현 ,  황호정

대한전자공학회 학술대회

1998 .11

연속 이온 주입 공정 모델링 및 시뮬레이션 ( Modeling and Simulation of Multiple Implantation Process )

손명식 ,  박수현 ,  황호정

대한전자공학회 학술대회

1998 .11

공정특성에 따른 공정분석활용 및 공정분석지식 관리에 대한 연구

이상화 ,  배일주 ,  이수홍

대한기계학회 춘추학술대회

2010 .04

통합화된 공정 시뮬레이터 개발에 관한 연구

안병일 ,  이준하 ,  권오근 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1995 .12

3차원 몬테카를로 이온주입 시뮬레이터의 개발

송재복 ,  원태영

대한전자공학회 학술대회

1996 .11

3차원 몬테카를로 이온주입 시뮬레이터의 개발 ( Development of Three-Dimensional Monte Carlo Ion implantation Simulator )

송재복 ,  원태영

대한전자공학회 학술대회

1996 .11

ULSI급 CMOS 소자 특성 분석을 위한 몬테 카를로 이온 주입 공정 시뮬레이션시의 효율적인 가상 이온 발생법

손명식 ,  이진구

전자공학회논문지-SD

2001 .11

유한요소법을 사용한 3차원 열산화 공정 시뮬레이션에 관한 연구 ( Three-Dimensional Thermal Oxidation by Finite Element Method )

윤상호 ,  이제희 ,  원태영 외 3명

대한전자공학회 워크샵

1996 .01

3차원 몬테 카를로 이온 주입 공정 모델링 및 시뮬레이션 : 효율적인 가상 궤적 발생 알고리듬 ( Three-Dimensional Monte Carlo Modeling and Simulation of Ion Implantation Process : an Efficient Virtual Trajectory Split Approach )

손명식 ,  황호정

전자공학회논문지-D

1998 .03

LED 공정분석을 위한 시뮬레이션 연구

윤철호

한국산학기술학회 논문지

2007 .08

실리콘 산화공정에 대한 실험적 고찰 ( An Experimental Study on the Oxidation Process of Silicon )

최연익 ,  김충기

전자공학회지

1979 .03

해석모델을 이용한 3차원 이온주입 시뮬레이터 개발 ( Development of Three-Dimensional Ion Implantation Simulator Using Analytical Model )

박화식 ,  이준하 ,  황호정

전자공학회논문지-A

1993 .12

반도체 제조공정에서의 품질 향상을 위한 ‘BoB 공정 경로’ 후보군 도출 연구

이창호 ,  배영목 ,  이동희 외 1명

대한산업공학회 추계학술대회 논문집

2017 .11

SF₆ 가스 회수 공정들의 특성 연구

조훈 ,  우대식 ,  최유미 외 1명

청정기술

2011 .12

단결성 〈100〉GaAs 기판에서의 3차원 이온 주입 공정 모델링 및 시뮬레이션

손명식 ,  황호정

대한전자공학회 학술대회

1997 .11

불공정 사회를 위한 공정 사회론

조명래

건축과사회

2013 .10

천의 태와 공정조건

이재곤 ,  김승진

한국섬유공학회지

1983 .01

On-line Process Data-driven Diagnostics Using Statistical Techniques

Hyun-Woo Cho

한국산학기술학회 논문지

2018 .03