3 차원 산화 공정을 위한 유한요소법 수치 해석기 개발에 관한 연구 ( Development of Finite Element Numerical Simulation for Three - dimensional Oxidation )

이제희 ,  윤상호 ,  송재복 외 2명

전자공학회논문지-D

1997 .03

스트레스 효과를 고려한 3차원 산화 시뮬레이션 ( Three-Dimensional Simulation of Thermal Oxidation with Stress Effect )

이제희 ,  윤상호 ,  원태영

대한전자공학회 학술대회

1996 .11

스트레스 효과를 고려한 3차원 산화 시뮬레이션

이제희 ,  윤상호 ,  원태영

대한전자공학회 학술대회

1996 .11

열산화 공정 시뮬레이션을 위한 3차원 메쉬 생성기 제작 ( Three-Dimensional Mesh Generation for Thermal Oxidation )

윤상호 ,  이제희 ,  원태영

대한전자공학회 학술대회

1995 .11

열산화 공정 시뮬레이션을 위한 3차원 메쉬 생성기 제작

윤상호 ,  이제희 ,  원태영

대한전자공학회 학술대회

1995 .12

Modeling of Three-Dimensional Thermal Oxidation

이준하 ,  황호정

대한전자공학회 학술대회

1996 .01

4. 유한요소법(Finite Element Method)

최창근

대한토목학회지

1988 .06

유한요소법 ( I ) ( Finite Element Method )

이중홍

대한기계학회지

1973 .09

3 차원 산화 시뮬레이터 개발 ( Development of Three-dimensional Thermal Oxidation Simulator )

이제희 ,  윤상호 ,  원태영

전자공학회논문지-D

1997 .02

반응표면분석법을 이용한 열산화공정의 최적화 ( Optimization of Thermal Oxidation Using Response Surface Methodology )

이준성 ,  박세근 ,  정덕진

대한전자공학회 학술대회

1991 .11

Three-Dimensional Analytical Model for Thermal Oxidation Process

Jun Ha Lee ,  Oh Keun Kwon ,  Ki Ryang Byun 외 1명

ICVC : International Conference on VLSI and CAD

1993 .01

유한요소법 ( II ) ( Finite Element Method )

이중홍

대한기계학회지

1973 .12

1 Giga급 집적회로 구현을 위한 3차원 산화 공정 시뮬레이션 개발 및 산화층 성장 특성 분석에 관한 연구 ( Development of Three-Dimensional Thermal Oxidation Process Simulator and Analysis the Characteristics of Multi-Dimensional Oxide Growth )

이준하 ,  황호정

전자공학회논문지-A

1995 .08

유한요소법 ( III ) ( Finite Element Method )

이중홍

대한기계학회지

1974 .03

유한요소법을 이용한 반도체의 산화막 성장에 대한 연구 ( Study on the Oxide Growth of Semiconductor by Finite Element Method )

조종두 ,  이동한

대한기계학회 춘추학술대회

1996 .01

실리콘 산화공정에 대한 실험적 고찰 ( An Experimental Study on the Oxidation Process of Silicon )

최연익 ,  김충기

전자공학회지

1979 .03

요소제거기법을 이용한 전단가공 공정의 유한요소 시뮬레이션

고대철 ,  김병민 ,  최재찬

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

1995 .11

유한요소법의 과거, 현재와 미래

이필승

대한기계학회 춘추학술대회

2018 .12

2차원 소성가공공정의 자동 유한요소 시뮬레이션 ( Automatic Finite Element Simulation of Two-Dimensional Deformation in Metal Forming )

고영우 ,  황상무

대한기계학회 춘추학술대회

1993 .01

시간 유한요소법을 이용한 역시뮬레이션 기법에 관한 연구 ( A Study on the Inverse Simulation Technique by Temporal Finite Element Method )

이수창 ,  김유단

대한전자공학회 학술대회

1994 .01