실리콘 산화공정에 대한 실험적 고찰

최연익 ,  길충기

대한전자공학회 학술대회

1978 .01

실리콘 산화공정에 대한 실험적 고찰

최연익 ,  길충기

대한전자공학회 심포지엄 논문집

1978 .01

다공질 실리콘의 열산화 ( Thermal Oxidation of Porous Silicon )

박정용 ,  조찬섭 ,  양천순 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1990 .07

급속 열처리 시스템 제작 및 실리콘 산화막 성장 ( Fabrication of Rapid Thermal Process System and Silicon Oxidation )

곽윤은 ,  김성수 ,  김대환 외 3명

대한전자공학회 학술대회

1987 .11

다공질 실리콘 ( Porous Silicon ) 의 열산화 ( Thermal Oxidation of Porous Silicon )

양천순 ,  박정용 ,  이종현

전자공학회논문지

1990 .10

급속열산화법에 의한 실리콘 산화막의 특성 ( Characteristics of Silicon Oxide Films Grown by Rapid Thermal Oxidation )

이귀연 ,  양두영 ,  이정용

전자공학회논문지-A

1991 .12

화학적 산화막을 이용한 에미터 패시베이션에 관한 연구

부현필 ,  강민구 ,  김영도 외 5명

한국신·재생에너지학회 학술대회 초록집

2010 .06

다결정 실리콘 / 다결정 실리콘 열산화막의 계면 거칠기를 개선하기 위한 새로운 산화 방법

전명철 ,  김진원 ,  김기범 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1995 .01

실리콘 산화막의 전압 전류 특성

강창수

대한전자공학회 학술대회

2016 .06

$N_2$O 분위기에서 RTP로 제조한 실리콘 산화막의 산화 반응

박진성 ,  이우성 ,  심태언

한국재료학회지

1993 .01

실리콘 산화막의 트랩 밀도에 관한 연구 ( A study on the Trap Density of Silicon Oxide )

김동진 ,  강창수

전자공학회논문지-T

1999 .03

실리콘배향에 따른 산화 속도 영향과 표면 Morphology

전법주 ,  오인환 ,  임태훈 외 1명

공업화학

1997 .01

The Characteristic of Low Level Current in Silicon Oxide

Chang-Soo Kang

대한전자공학회 학술대회

2013 .07

Plasma deposited silicon thin films for next generation photovoltaics

Ka-Hyun Kim

한국신·재생에너지학회 학술대회 초록집

2015 .06

The Passivation Properties with Various Annealing Condition of P-doped Poly-Silicon/Silicon Oxide/Crystalline Silicon Structure

Sungjin Choi ,  Kwan Hong Min ,  Myeong Sang Jeong 외 6명

한국태양에너지학회 학술대회논문집

2018 .04

Recess 산화를 이용한 자기정렬 n+-p 폴리실리콘-실리콘 접합구조 ( Self-Aligned n+-p Polysilicon-Silicon Junction Structure Using the Recess Oxidation )

이종호 ,  박영준 ,  이종덕 외 1명

전자공학회논문지-A

1993 .06

다공질 실리콘을 이용한 저온 산화막의제조

류창우 ,  심준환 ,  이정희 외 3명

한국재료학회지

1996 .01

실리콘 산화막의 저레벨 누설전류에 관한 연구 ( A Study on the Low Level Leakage Currents of Silicon Oxides )

강창수 ,  김동진

전자공학회논문지-T

1998 .06