3차원 몬테카를로 이온주입 시뮬레이터의 개발

송재복 ,  원태영

대한전자공학회 학술대회

1996 .11

해석모델을 이용한 3차원 이온주입 시뮬레이터 개발 ( Development of Three-Dimensional Ion Implantation Simulator Using Analytical Model )

박화식 ,  이준하 ,  황호정

전자공학회논문지-A

1993 .12

기가 비트급 소자 제작을 위한 3차원 몬테카를로 극 저 에너지 이온 주입 모델링 ( Modeling of 3D Monte Carlo Ion Implantation in the Ultra-Low Energy for the Fabrication of Giga-Bit Devices )

반용찬 ,  권오섭 ,  원태영

전자공학회논문지-SD

2000 .10

단결정 실리콘 <100> 에서의 저 에너지 Born 주입을 위한 3차원 Monte Carlo 시뮬레이션

손명식 ,  이준하 ,  박화식 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1994 .11

RF 에칭 시스템에서 이온의 몬테카를로 시뮬레이션 ( Monte Carlo Simulation of Ion in an FR Plasma Etching System )

반용찬 ,  이제희 ,  윤상호 외 3명

대한전자공학회 학술대회

1997 .11

Monte Carlo Simulation of Ion Implantation Profiles Calibrated for Various Ions over Wide Energy Range

Kunihi ,  o SUZUKI ,  Yoko TADA 외 2명

JOURNAL OF SEMICONDUCTOR TECHNOLOGY AND SCIENCE

2009 .03

저 에너지 Boron 이온 주입 공정에 대한 3차원 Monte Carlo 시뮬레이션

손명식 ,  권오근 ,  이준하 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1995 .01

단결성 〈100〉GaAs 기판에서의 3차원 이온 주입 공정 모델링 및 시뮬레이션

손명식 ,  황호정

대한전자공학회 학술대회

1997 .11

3차원 몬테 카를로 이온 주입 공정 모델링 : 3차원 잡음 영역을 최소화하기 위한 효율적인 가상 궤적 발생 알고리듬

손명식 ,  황호정

대한전자공학회 학술대회

1997 .06

3차원 몬테 카를로 이온주입 공정 모델링 : 3차원 잡음 영역을 최소화하기 위한 효율적인 가상 궤적 발생 알고리듬 ( Three-Dimensional Monte Carlo Modeling of Ion Implantation : Development of an Efficient 3D Virtual Trajectory Split Algorithm )

손명식 ,  황호정

대한전자공학회 학술대회

1997 .07

이온 주입 시의 점결함 발생과 재결합에 관한 3차원 몬테 카를로 모델링 및 시뮬레이션 ( Three - Dimensional Monte Carlo Modeling and Simulation of Point Defect Generation and Recombination During Ion Implantation )

손명식 ,  황호정

전자공학회논문지-D

1997 .05

3차원 몬테 카를로 이온 주입 공정 모델링 및 시뮬레이션 : 효율적인 가상 궤적 발생 알고리듬 ( Three-Dimensional Monte Carlo Modeling and Simulation of Ion Implantation Process : an Efficient Virtual Trajectory Split Approach )

손명식 ,  황호정

전자공학회논문지-D

1998 .03

RF 에칭 시스템에서 이온의 몬테카를로 시뮬레이션

반용찬 ,  이제희 ,  윤상호 외 3명

대한전자공학회 학술대회

1997 .11

단결정 실리콘 < 100 > 에서의 저 에너지 Boron 주입을 위한 3차원 Monte Carlo 시뮬레이션 ( A Three-dimensional Monte Carlo simulation of Low-Energy Boron implantation into < 100 > single-Crystal silicon )

손명식 ,  이준하 ,  박화식 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1994 .11

단결정 실리콘에서의 3차원 몬테 카를로 이온 주입 모델링 : 완전 역동 손상 모델 ( Three-Dimensional Monte CArlo Modeling of Ion Implantation Into Crystalline Silicon : Full Dynamic DAmage Model )

손명식 ,  송영진 ,  황호정

대한전자공학회 학술대회

1996 .11

Mixed Particle Monte Carlo 방법을 이용한 2 차원 MOSFET 시뮬레이터 ( Two Dimensional MOSFET Simulator using Mixed Particle Monte Carlo Method )

진교영 ,  박영준 ,  민홍식

전자공학회논문지-A

1994 .05

단결정 실리콘에서의 3차원 몬테 카를로 이온 주입 모델링 : 완전 역동 손상 모델

선명식 ,  황호정 ,  송영진

대한전자공학회 학술대회

1996 .11

몬테카를로시뮬레이션 (Monte-Carlo simulation)을 이용한 전과정평가의 불확실성에 대한 확률통계적분석

안상전 ,  이건모 ,  이상용 외 1명

대한환경공학회 학술발표논문집

2005 .12

몬테카를로 방법에 의한 제어기의 강건성해석

정우용 ,  홍성경 ,  김종성

제어로봇시스템학회 국내학술대회 논문집

1993 .10

Three-Dimensional Monte Carlo Modeling and Simulation of Ion Implantation Process : Phosphorus and Silicon Self Implants over Commonly Used Energy and Dose Range

Myung-Sik Son ,  Ho-Jung Hwang

Journal of Electrical Engineering and information Science

1999 .06