CMP 에서 웨이퍼 에지 접촉응력의 해석과 측정

이종우 ,  이다솔 ,  정선호 외 2명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2017 .12

Wafer Center Alignment System for Wafer Transfer Robot based on Reduced Number of Sensors

H. Kim

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2022 .10

Analytical Study of Contact Stress on Wafer Edge in CMP

이종우 ,  이다솔 ,  정선호 외 3명

Journal of the Korean Society for Precision Engineering

2018 .02

CMP에서 짐벌 구조 헤드가 웨이퍼 접촉응력분포에 미치는 영향

이종우 ,  정선호 ,  이다솔 외 1명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2017 .05

Planetary 형 반응기에서 웨이퍼와 기판 사이의 틈새가 웨이퍼 온도에 미치는 영향에 대한 연구

정종완 ,  임익태

반도체디스플레이기술학회지

2017 .01

영상처리 기반 웨이퍼 이송 위치 정밀 측정 시스템 개발

황병훈 ,  오세덕

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2023 .05

웨이퍼 에지의 압력 모니터링을 이용한 재료 제거 프로파일의 예측

박은정 ,  정해도 ,  이창석 외 1명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2015 .12

반도체 웨이퍼의 온도 측정에 관한 연구

이욱현 ,  조종표 ,  정학근 외 2명

대한설비공학회 학술발표대회논문집

2015 .06

박판 웨이퍼의 적재 시 손상 최소화 기술

이종항

한국산학기술학회 논문지

2021 .01

웨이퍼 수율 향상을 위한 비전 검사 시스템

김영형 ,  박종익 ,  황영광 외 1명

Proceedings of KIIT Conference

2023 .11

3D Surface and Thickness Profile Measurements of Si Wafers by Using 6 DOF Stitching NIR Low Coherence Scanning Interferometry

박효미 ,  최문성 ,  주기남

Journal of the Korean Society for Precision Engineering

2017 .02

Optimal Selection of n-Type Wafer Resistivity and Lifetime for Industrial High-Efficiency Silicon Solar Cells

Cheolwook Kwon ,  Soohyun Bae ,  Sanghee Lee 외 8명

한국태양에너지학회 학술대회논문집

2024 .10

웨이퍼 배치 구조를 갖는 CVD 챔버 내부의 유동 분석

강승환 ,  이재원 ,  고한서

대한기계학회 논문집 B권

2018 .01

웨이퍼 연삭 공정의 이론적 모델링을 이용한 형상정밀도 향상 기술에 관한 연구

이상직 ,  강필식 ,  황경환

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2022 .10

레이저 기반 SiC 웨이퍼 박형화 공정

윤하영 ,  임재승 ,  한성흠 외 3명

한국생산제조학회 학술발표대회 논문집

2021 .07

반응로 내 웨이퍼 배치의 온도장 분석 및 가시화

강승환 ,  이승호 ,  김병훈 외 1명

한국가시화정보학회지

2015 .12

비전 얼라이먼트 유닛의 다중 웨이퍼 위치 조정을 위한 비전 알고리즘에 관한 연구

이창용 ,  지연정 ,  박종익 외 1명

Proceedings of KIIT Conference

2021 .06

반응로 내 웨이퍼 배치의 온도장 분석 및 가시화

강승환 ,  이승호 ,  김병훈 외 1명

한국가시화정보학회 학술발표대회 논문집

2015 .12

웨이퍼 레벨 하이브리드 본딩을 위한 초정밀 웨이퍼 Align/Attach 시스템 개발

이학준 ,  김태호 ,  정용진 외 1명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2021 .11

WAFER PROCESS 실시간 모니터링 시스템에 관한 연구

김효남

한국컴퓨터정보학회 학술발표논문집

2015 .01