Boron Phosphide의 저온 결정성장

박홍기 ,  원서연 ,  김희식

정보 및 제어 논문집

2011 .04

유도결합 플라즈마 화학 기상 증착법을 이용한 cubic boron nitride 박막 증착에 관한 연구

남경희 ,  이승훈 ,  홍승찬 외 1명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2003 .10

열선 화학 기상증착법에 의한 다결정 실리콘 박막의 고속 저온 증착

이정철 ,  강기환 ,  김석기 외 3명

한국재료학회 학술발표대회

2001 .01

플라즈마 화학증착법 및 진공 화학 증착법에 의한 텅스텐 박막의 특성 비교 ( I ) ( Characteristic Comparison of Plasma Enhanced CVD and Vacuum CVD Tungsten Thin Films )

김용태 ,  민석기 ,  홍종성 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1990 .01

화학 증착법에 의한 텅스텐 박막 ( CVD-W )

이시우 ,  김원규

전자공학회지

1988 .08

Cycle-CVD법으로 증착된 TiN 박막의 ALD 증착기구와 특성에 관한 연구

민재식 ,  손영웅 ,  강원구 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1998 .01

Microwave Plasma를 이용하여 증착한 diamond 박막의 증착변수에 따른 증착특성 연구

김현호 ,  김흥회 ,  국일현 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

1994 .01

저온 RTP-CVD에 의해 성장된 인화붕소(BP)의 물리적 특성

김파 ,  악흔 ,  후렐바타르 벌러르마 외 1명

대한전자공학회 학술대회

2010 .06

알루미늄 화학증착에서 선택적 증착을 위한 기저충의 활용

김동찬 ,  김병윤 ,  주승기

대한전자공학회 학술대회

1995 .01

초고집적 소자를 위한 화학증착 알루미늄 박막의 증착 특성에 관한 연구

김영성 ,  이경일 ,  주승기

한국재료학회 학술발표대회

1993 .01

보론강의 보론 분포거동과 특성 ( Boron Distribution behavior and Property of Boron Treated Steel )

최윤석 ,  정원섭 ,  박익민 외 3명

대한기계학회 춘추학술대회

1996 .01

마그네트론 스퍼터링에 의한 보론카바이드 증착막의 특성

이광은 ,  김종오 ,  김종희 외 3명

한국재료학회 학술발표대회

2002 .01

특집 : 재료의 플라즈마 표면처리 기술 ; 플라즈마 물리증착 및 화학증착 ( Plasma Assisted PVD and CVD )

전중환 ,  정재인

대한용접·접합학회지

1999 .02

기상화학증착 텅스텐 막질의 표면 형태에 관한 연구

전동수 ,  김선래 ,  이성영 외 2명

대한전자공학회 학술대회

2008 .06

슬리팅소오의 CVD 다이아몬드 증착에서 보론 도핑

고성도 ,  반갑수 ,  이재우

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2014 .10

알루미나 분리막의 제조;솔-젤법과 화학기상증착법에 의한 비교

김주희 ,  김경숙 ,  최광진 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

1996 .01

다공성 금속 샤워헤드를 적용한 상압 플라즈마 화학 기상 증착법에 의한 저온 다결정 실리콘 증착 공정

박형규 ,  송창훈 ,  오훈정 외 1명

대한전자공학회 학술대회

2019 .11