다공성 금속 샤워헤드를 적용한 상압 플라즈마 화학 기상 증착법에 의한 저온 다결정 실리콘 증착 공정

박형규; 송창훈; 오훈정; 백승재

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 박형규 (국립한경대학교) 송창훈 (연세대학교) 오훈정 (연세대학교) 백승재 (국립한경대학교)

저널정보: 대한전자공학회 대한전자공학회 학술대회 2019년도 대한전자공학회 추계학술대회 논문집

발행연도: 2019.11

수록면: 173 - 175 (3page)

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이 논문의 연구 히스토리 (3)

2020

다공성 금속 샤워헤드가 적용된 상압플라즈마 화학기상증착법을 이용한 저온 다결정 실리콘 증착 공정

박형규 , 송창훈 , 오훈정 외 1명 전기전자재료학회논문지 2020.01 학술저널

2019

다공성 금속 샤워헤드를 적용한 상압 플라즈마 화학 기상 증착법에 의한 저온 다결정 실리콘 증착 공정

박형규 , 송창훈 , 오훈정 외 1명 대한전자공학회 학술대회 2019.11 학술대회자료

상압 플라즈마를 이용한 저온 증착 공정

박형규 , 최승연 , 장지훈 외 1명 한국진공학회 학술발표회초록집 2019.08 학술대회자료

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박형규

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송창훈

소속기관 LIG넥스원

주요연구분야 공학 > 전기전자공학 > 정보통신공학 공학 > 전기전자공학 > 전자공학

논문수 8 이용수 345

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소속기관 한국전자통신연구원

주요연구분야 공학 > 전기전자공학 > 정보통신공학 TOP 10% 공학 > 컴퓨터학

논문수 103 이용수 8,805

백승재

소속기관 국립한경대학교

주요연구분야 공학 > 전기전자공학 > 전자공학 TOP 5% 공학 > 재료·에너지공학 > 기타 재료·에너지공학

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