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플라즈마로 강화된 화학기상증착법으로 증착한 SiN 박막을 이용한 양자우물 무질서화 : 급속 열처리한 경우 및 열처리하지 않는 경우 ( Dielectric Cap Quantum Well Disordering by Using Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposited Sin Capping Layer : Rapid Thermal Annealing and without Thermal Treatment )
한국통신학회 광전자공학 학술회의
1994 .01
플라즈마 화학증착 법에 의한 질화탄화규소의 박막증착
한국에너지학회 학술발표회
2014 .11
2단계 증착법을 이용하여 증착한 ZnO 박막의 열처리 효과 분석
대한전기학회 학술대회 논문집
2001 .11
SiN 박막을 이용한 Si Nanodot의 형성
공업화학
2005 .01
플라즈마 화학 증착법으로 제조된 (Ti1-xAlx)N 박막의 열처리에 따른 특성 평가
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2001 .11
신경망모델을 이용한 SiN 박막의 수명 시간 모델
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2009 .10
플라즈마 화학 기상 증착법을 이용한 탄소나노튜브의 성장
한국재료학회 학술발표대회
2001 .01
PECVD방법으로 SiN 박막을 성장함으로써 얻어지는 양자우물 무질서화 및 양자우물내의 Al 확산계수의 계산
대한전자공학회 학술대회
1995 .01
급속 열처리 시스템의 개발 및 응용 ( Development and Application of Rapid Thermal Process System )
전자공학회논문지
1988 .09
급속 열처리 시스템의 개발 및 응용 ( Development & Application of rapid thermal process system )
대한전자공학회 학술대회
1987 .11
Dielectric Cap Quantum Well Disordering and its Application to PIC
한국통신학회 기타 간행물
1998 .01
플라즈마 화학증착법의 발전과 응용 ( Application and Progress of Plasma-assisted Chemical Vapor Deposition Process )
대한용접·접합학회지
1997 .10
플라즈마 기상 증착법을 이용한 비정질 탄화 실리콘 막 증착 중 발생 입자 및 박막 특성 분석
대한기계학회 춘추학술대회
2017 .05
고온 급속열처리에 의한 이온빔 증착 W/GaAs의 구조 및 전기적 특성 ( Structural and Electrical Characteristics of Ion Beam Deposited Tungsten/GaAs by High Temperature Rapid Thermal Annealing )
전자공학회논문지
1990 .01
산소플라즈마와 급속열처리에 의해 제조된 티타니아 박막의 휴믹산 제거
지하수토양환경
2007 .01
플라즈마 화학증착법을 이용한 $TiO_2$ 박막제조 및 특성분석
한국재료학회 학술발표대회
1995 .01
급속 열처리 장치를 이용한 실리콘 산화막의 Annealing 효과
대한전기학회 학술대회 논문집
1988 .07
급속 열처리 장치를 이용한 실리콘 산화막의 Annealing 효과 ( Effects of Annealing on Silicon Dioxide Using Rapid Thermal Process System )
대한전자공학회 학술대회
1988 .07
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