SiN 박막을 이용한 Si Nanodot의 형성

이장우 ,  박익현 ,  신별 외 1명

공업화학

2005 .01

낮은 소스전력-펄스플라즈마를 이용하여 증착한 실리콘 나이트라이드 박막 특성

이수진 ,  김병환 ,  윤능구

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2010 .11

원자층 증착 방법에 의한 silicon oxide 박막 특성에 관한 연구

이주현 ,  박종욱 ,  한창희 외 3명

한국재료학회 학술발표대회

2003 .01

유도결합 플라즈마 화학 기상 증착법을 이용한 cubic boron nitride 박막 증착에 관한 연구

남경희 ,  이승훈 ,  홍승찬 외 1명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2003 .10

$CH_4-CO_2$혼합가스로부터 PECVD법에 의한 DLC 박막 증착에 관한 연구

진억용

한국재료학회지

1996 .01

펄스레이저를 이용한 박막 증착

김호성

전기의세계

1993 .06

증착 공정에 따른 알루미늄 박막의 제조와 특성

정재인 ,  양지훈 ,  박혜선 외 2명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2012 .11

Rf 마그네트론 반응성 스퍼터링법에 의해 증착된 $RuO_2$ 박막의 특성분석

조호진 ,  홍석경 ,  조해석 외 2명

한국재료학회지

1995 .01

PECVD를 이용한 ZnO박막 증착시 증착 변수가 증착속도 및 결정 구조에 미치는 영향

김영진 ,  김형준

한국재료학회지

1994 .01

스퍼터링 전력 변화에 따른 Al thin film의 특성 분석

홍근기 ,  홍순관

한국산학기술학회 학술대회논문집

2009 .05

Cycle-CVD법으로 증착된 TiN 박막의 ALD 증착기구와 특성에 관한 연구

민재식 ,  손영웅 ,  강원구 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1998 .01

RF PCVD 에 의한 DLC 박막합성과 Tribology특성평가

김성영 ,  이상현 ,  신승용 외 1명

한국재료학회지

1997 .01

펄스 플라즈마 CVD에 의한 다이아몬드 특성을 갖는 탄소박막 증착

임호병 ,  김동선 ,  이기선

한국자원리싸이클링학회 심포지엄

2003 .01

높은 비저항을 갖는 ZnO 박막 증착에 관한 연구

차경환 ,  이규항 ,  조남인 외 1명

한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회

2006 .01

Microwave Plasma를 이용하여 증착한 diamond 박막의 증착변수에 따른 증착특성 연구

김현호 ,  김흥회 ,  국일현 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

1994 .01

LPCVD 방식으로 SiO₂ 위에 증착된 텅스텐 박막의 특성 분석

윤선필 ,  노관종 ,  황성민 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1999 .11

MOCVD 방법에 의한 DMEAA로 증착한 알루미늄 박막의 증착특성

장태웅 ,  백종태 ,  강상원 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1995 .01