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자료유형
학술저널
저자정보
장준원 (한양대학교 토목공학과) 박재우 (한양대학교 토목공학과)
저널정보
한국지하수토양환경학회 지하수토양환경 지하수토양환경 제12권 제3호
발행연도
2007.1
수록면
29 - 35 (7page)

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본 연구에서는 산소플라즈마로 티타늄을 산화하고 급속열처리하여 티타니아 광촉매 박막을 제조하고 휴믹산 제거실험을 수행하였다. 플라즈마 화학기상증착장치에서의 산소플라즈마는 티타늄 표면을 산화시킴으로써 광촉매 피막을 생성하게 된다. 증착조건에서 RF power는 최대 500 W 이하에서 100 W, 150 W, 300 W, 처리시간은 5분, 10분에서 조절되었다. 박막의 특성은 XPS와 XRD로 측정하였다. 실험으로서 우리는 박막이 높은 성능을 나타내는 최적을 조건을 찾았다. 또한 제조된 박막의 경우 기존 Thermal spray Titania film에 비해 2배정도 우수하였고 분말만큼 광촉매 성능을 갖는다.
#티타니아 #광촉매 #산소플라즈마 산화 #플라즈마 화학기상증착 #급속열처리

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