SiO2 에어로겔 박막에 대한 O2 플라즈마 처리효과

김홍률 ,  홍정균 ,  조문호 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1998 .01

건식 식각기술의 동향분석

박성호 ,  김진섭 ,  강봉구

[ETRI] 전자통신동향분석

1989 .06

디스플레이 공정용 건식 식각 장비의 시뮬레이션 기술

최희환

인포메이션 디스플레이

2015 .01

펄스 RF 입력 비율에 따른 SiO₂ 건식 식각 능력의 변화에 대한 연구

한상범 ,  김소영

대한전자공학회 학술대회

2020 .08

SiO₂ 식각을 위한 판형 Low Angle Forward Reflected Neutral Beam 식각장치에 관한 연구

정승재 ,  이도행 ,  염근영

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2003 .05

고밀도 플라즈마를 이용한 ZnO 박막의 식각 특성 분석

강찬민 ,  김관하 ,  김창일

대한전기학회 학술대회 논문집

2006 .07

SiO₂/Si₃N₄ 2중층 박막의 유전특성

고길영 ,  김균식 ,  홍능표 외 3명

대한전기학회 학술대회 논문집

2003 .07

초고집적 소자 제조를 위한 건식 식각 기술 동향

권광호 ,  김보우

전자공학회지

1991 .09

C₂C1F₅-O₂혼합가스를 사용한 포토레지스트의 건식식각 특성

최영규 ,  이진희 ,  남기수 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1986 .06

Si$O_{2}/{Si}_{0.7}{Ge}_{0.3}/SiO_{2}$계에서의 계면응집현상에 의한 양자점 형성에 관한 연구

윤태식 ,  권장연 ,  이동훈 외 2명

한국재료학회 학술발표대회

1997 .01

축전결합 $CF_4$/$O_2$/$A_r$ 플라즈마에 의한 Polymethyl methacrylate (PMMA)와 Polycarbonate건식식각 비교

노호섭 ,  박연현 ,  이성현 외 3명

한국재료학회 학술발표대회

2008 .01

고집적 메모리소자의 캐패시터 전극용 백금 박막의 건식 식각 기술

김권식 ,  김형준

대한전자공학회 학술대회

1998 .01

화염내 에어로솔의 형성과 성장 : 에어로솔 측정 및 에어로솔 모델링

장혁상

대한환경공학회 학술발표논문집

1995 .12

슬젤법에 의해 제작된 SiO₂ 박막 특성 분석

유도현

대한전기학회 학술대회 논문집

2005 .11

CH₄/H₂를 사용한 InP계 광전소자의 건식 식각 공정에 관한 연구

박종대 ,  유지범 ,  박찬용 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1993 .11

건식식각장치에서 임피던스 측정과 비등방성 식각에 대한 연구

김종식 ,  김흥락 ,  강봉구 외 1명

대한전기학회 학술대회 논문집

1989 .07