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이용수
Abstract
1. 서론
2. 시료 및 실험
3. 결과 및 고찰
4. 결론
[참고문헌]
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Capacitance-Voltage Characteristics in the Double Layers of SiO₂/Si₃N₄
전기학회논문지 C
2003 .10
다결정 Si/SiO₂ ∥ Si 적층구조에서 SiO₂층의 두께에 따른 유전특성의 변화
한국표면공학회지
2000 .08
Si-SiO₂系의 問題点과 研究動向
전기의세계
1985 .06
Si$O_{2}/{Si}_{0.7}{Ge}_{0.3}/SiO_{2}$계에서의 계면응집현상에 의한 양자점 형성에 관한 연구
한국재료학회 학술발표대회
1997 .01
SIMS를 이용한 SiO₂/PSG/SiO₂/Al-1%Si 및 SiO₂/TEOS/SiO₂/Al-1%Si 적층 박막내의 Na 게터링 분석
한국표면공학회지
2018 .04
PECVD를 이용한 SiO2 / Si3N4 박막의 특성 고찰 ( Characteristics of SiO2 / Si3N4 Films Using the PECVD Method Under Various Conditions )
대한전자공학회 학술대회
1991 .11
전기로를 이용한 $Si∥SiO_2/Si_3N_4∥Si$기판쌍의 직접접합
한국재료학회 학술발표대회
2001 .01
D. C. 전압 인가에 의한 Pd-SnOx-Si₃N₄-SiO₂-Si-Al 캐패시터의 산소흡착/탈착 반응
대한전기학회 학술대회 논문집
1997 .07
SiO2-Si 구조의 계면준위 측정에 미치는 빛의 영향 ( The Effect of Illumination on Surface State Density measurement of SiO2-Si Structure )
대한전자공학회 학술대회
1984 .01
Si-SiO2 계의 N2 Plasma 처리효과에 관한 연구 ( A Study on the Effect of N2 Plasma Treatment on the Si-SiO2 System )
대한전자공학회 학술대회
1988 .01
AL / ZnO / Si3N4 / SiO2 / Si 구조의 전기적 특성 및 가스 감지 효과 ( Electrical Property and Gas Sensing Effect of Al / ZnO / Si3N4 / SiO2 / Si Structure )
대한전자공학회 학술대회
1983 .01
선형접합기를 이용한 Si∥1.3㎛-SiO₂/1.3㎛-SiO₂∥Si SOI 기판의 직접접합
한국표면공학회지
2001 .02
SiO₂ 콜로이달에 의한 Si₃N₄ 복합 세라믹스의 상온굽힘강도 및 균열치유 현상
대한기계학회 논문집 A권
2009 .07
Electrical Characteristics of Thin SiO₂ Layer
KIEE International Transactions on Electrophysics and Applications
2003 .04
Si3N4 / SiO2 / Si3N4 다이아프레임을 이용한 광섬유 압력센서 ( Fiber Optic Pressure Sensor Using the Si3N4 / SiO2 / Si3N4 Daiphragm )
대한전자공학회 학술대회
1996 .01
Si3N4 / SiO2 / Si3N4 다이아프레임을 이용한 광섬유 압력센서 ( Fiber Optic Pressure Sensor Using the Si3N4 / SiO2 / Si3N4 Daiphragm )
한국통신학회 광전자공학 학술회의
1996 .01
$SiO_2$ RF Power와 증착 시간 변화에 따른 고유전 $TiO_2-SiO_2$ 절연막의 특성
한국재료학회 학술발표대회
2007 .01
〈논문〉SiO₂ 콜로이달 첨가에 의한 Si₃N₄ 복합 세라믹스의 Morphology
대한기계학회 춘추학술대회
2008 .06
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