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목차
Abstract
1. 서론
2. 실험방법
3. 실험결과 및 고찰
감사의 글
4. 결론
참고문헌
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DEGRADATION OF Zn₃N₂ FILMS PREPARED BY REACTIVE RF MAGNETRON SPUTTERING
한국표면공학회지
1996 .10
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고주파 마그네트론 스퍼터장치로 증착한 Ti 박막의 특성에 관한 연구
열처리공학회지
2009 .01
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RF magnetron 스파터링법으로 제작한 TiNx 박막의 XPS 분석
한국안광학회지
1998 .12
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RF magnetron 스파터링법으로 제작한 TiNx 박막의 면저항분석
한국안광학회지
1999 .06
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RF 마그네트론 스퍼터링법으로 증착한 전기변색 박막의 물성평가
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2015 .05
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RF 마그네트론 스퍼터링 증착 압력변화에 따른 SnS 박막의 구조적, 광학적 특성 연구
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2019 .05
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반응성 RF마그네트론 스퍼터링법에 의해 제작한 TiO₂ 박막의 광촉매 특성
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2006 .04
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2㎓ 대역 RF 대역통과 필터 응용을 위한 AIN 압전 박막을 이용한 FBAR 소자
한국정보통신학회논문지
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RF 마그네트론 스퍼터를 이용한 TiN 박막 제조 및 특성 분석
한국재료학회 학술발표대회
2003 .01
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