Thermal Instability of ( Ti , Co ) Silicides by High Temperature Annealing

엄우용; 장호정; 장지근; 홍성수; 송진태

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 엄우용 장호정 장지근 홍성수 송진태

저널정보: 대한전자공학회 대한전자공학회 학술대회 대한전자공학회 학술대회 논문집 (한국반도체 대한전자공학회 학술대회 논문집) 제3권

발행연도: 1996.1

수록면: 319 - 321 (3page)

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