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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 2018.10
- 수록면
- 33 - 39 (7page)
- DOI
- 10.5573/ieie.2018.55.10.33
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본 연구에서는 광 검출기로 사용하기 위한 목적으로 다결정 실리콘을 구성하는 결정립의 크기와 결정립계의 수소 부동태화의 관계에 대해 조사하였다. 결정립의 크기는 후속 고온 열처리 공정을 통해 조절하였으며, 수소 부동태화는 수소 이온 주입법과 저온 열처리 공정을 통해 다결정 실리콘 내부에서 진행되었다. 제조된 다결정 실리콘 기반 광 검출기는 금속-반도체-금속구성을 가진다. 적절한 크기의 결정립을 갖는 다결정 실리콘에서 수소 부동태화는 광 검출기의 광학 및 전기적 특성을 개선시켰다. 이는 결정립계에 존재하는 결함이 비활성화 되었음을 의미한다. 그러나 큰 결정립의 갖는 다결정 실리콘에서는 결정립의 전도 특성이 광 검출기의 암전류 및 광전류를 동시에 증가시켜 부동태화 현상이 관찰되지 않았다. 그러므로 다결정 실리콘 기반 광 검출기의 효과적인 부동태화를 위해서는 이온 주입법이 이온의 조사량과 분포 깊이를 조절할 수 있어 편리하게 사용될 수 있고, 또한, 이온이 주입되는 다결정 실리콘은 적절한 크기의 결정립을 가져야 함을 알 수 있었다.
목차
요약
Abstract
Ⅰ. 서론
Ⅱ. 실험
Ⅲ. 결과
Ⅳ. 토의
Ⅴ. 결론
REFERENCES
참고문헌 (14)
참고문헌 신청
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