RTCVD를 이용한 GeSn 에피층의 저온 성장기술

길연호 ,  육심훈 ,  장한수 외 3명

대한전자공학회 학술대회

2016 .11

Enhanced Thermoelectric Behavior of PEDOT:PSS/RTCVD graphene Hybrid film

Chanil PARK ,  Dohyuk YOO ,  Jung Hyun KIM

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2016 .10

RTCVD에 의한 다결정 $Si_{1-x}Ge_x$ 박막 증착

김재중 ,  이승호 ,  소명기

한국재료학회지

1995 .01

RTCVD법을 이용한 Si(111)기판 위에 3C-SiC(111) 박막의 성장 및 분석

서영훈 ,  남기석 ,  황용규 외 2명

한국재료학회지

1997 .01

( 111 ) 기판의 실리콘 단결정층 성장시 발생하는 패턴 이동 현상의 분석 ( An Analysis of Pattern Shift in the Epitaxial Growth of Silicon on ( 111 ) Substrates )

백문철 ,  조경익 ,  송성해

전자공학회지

1984 .07

선택적 단결정 실리콘 성장의 고집적 소자 적용 기술

정우석

한국재료학회 학술발표대회

2002 .01

실리콘 박막의 제조와 특성 평가

김준수

한국신·재생에너지학회 학술대회 초록집

2012 .11

Si 모재 위의 Si_(x)Ge_(1-x) 박막에서 부정합 전위와 임계두께에 관한 연구 ( Study on Misfit Dislocations and Critical Thickness in a Si_(x)Ge_(1-x) Epitaxial Film on a Si Substrate )

신정훈 ,  김재현 ,  엄윤용

대한기계학회 춘추학술대회

2001 .06

실리콘 선택적 기상 성장을 이용한 마이크로 센서에 응용되는 구조물 제조법

박정호 ,  김종관 ,  김상영 외 1명

대한전기학회 학술대회 논문집

1995 .07

Single Source Chemical Vapor Deposition of Epitaxial silicon Carbide Films

Kyung Won Lee ,  Kyu Sang Yu ,  Yun Soo Kim

대한전자공학회 학술대회

1996 .01

EFFECT OF THE ROUGHNESS OF SUBSTRATE SURFACE ON LOW-TEMPERATURE SILICON EPITAXIAL GROWTH

Kwon ,  Sung-Ku ,  Kim 외 3명

한국재료학회 학술발표대회

1998 .01

실리콘 Selective Epitaxial Growth에서 Facet과 결정 결함 및 전기적 특성

신유균 ,  배대록 ,  한민석 외 3명

한국재료학회 학술발표대회

1992 .01

RECENT ADVANCES IN SILICON EPITAXIAL GROWTH FOR ADVANCED DEVICE STRUCTURES

John Ogawa Bo ,  land

ICVC : International Conference on VLSI and CAD

1989 .01

Plasma deposited silicon thin films for next generation photovoltaics

Ka-Hyun Kim

한국신·재생에너지학회 학술대회 초록집

2015 .06

METALLURGICAL ISSUES IN COPPER-BASED METALLIZATION

Lin ,  C.S.

Fabrication and Characterization of Advanced Materials

1995 .01

Materials Property Investigations on Epitaxial Silicon Films Grown by using the 60 MHz Plasma-enhanced Deposition Method

Sung-In Mo ,  Jeong-Ho An ,  Ji-Eun Hong 외 4명

한국신·재생에너지학회 학술대회 초록집

2018 .11

급속열산화법에 의한 실리콘 산화막의 특성 ( Characteristics of Silicon Oxide Films Grown by Rapid Thermal Oxidation )

이귀연 ,  양두영 ,  이정용

전자공학회논문지-A

1991 .12

Optimization of Selective Epitaxial Growth of Silicon in LPCVD

Woo-Seok Cheong

[ETRI] ETRI Journal

2003 .12

[Invited Papers] Low Cost Polycrystalline Si Thin Film Solar Cells Prepared by SSP and RTCVD Technology

Shen Hui

한국태양에너지학회 학술대회논문집

2004 .10