EFFECT OF THE ROUGHNESS OF SUBSTRATE SURFACE ON LOW-TEMPERATURE SILICON EPITAXIAL GROWTH

Kwon ,  Sung-Ku ,  Kim 외 3명

한국재료학회 학술발표대회

1998 .01

Optimization of Selective Epitaxial Growth of Silicon in LPCVD

Woo-Seok Cheong

[ETRI] ETRI Journal

2003 .12

저압 CVD에 의한 Si_0.8Ge_0.2 epitaxial growth에 대한 Phosphorus doping 효과

이철진 ,  엄문종 ,  성만영

대한전기학회 학술대회 논문집

1997 .11

저압 CVD에 의한 Si_0.8Ge_0.2 Epitaxial Growth에 대한 In-situ Phosphorus Doping 효과

李鐵眞

전기학회논문지

1998 .12

Silicon Selective Epitaxial Growth를 이용한 Elevated Source/Drain의 높이가 MOSFET의 전류-전압 특성에 미치는 영향 연구

이기암 ,  김영신 ,  박정호

대한전기학회 학술대회 논문집

2001 .07

선택적 단결정 실리콘 성장의 고집적 소자 적용 기술

정우석

한국재료학회 학술발표대회

2002 .01

METALLURGICAL ISSUES IN COPPER-BASED METALLIZATION

Lin ,  C.S.

Fabrication and Characterization of Advanced Materials

1995 .01

RECENT ADVANCES IN POLYMER SYNTHESIS

Shohei Inoue

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

1987 .10

Single Source Chemical Vapor Deposition of Epitaxial silicon Carbide Films

Kyung Won Lee ,  Kyu Sang Yu ,  Yun Soo Kim

대한전자공학회 학술대회

1996 .01

Recent Advances in Structural Health Monitoring

Ma ,  ia Q. Feng

비파괴검사학회지

2007 .12

Pt/HfSi_xO_y/Silicon 구조의 전기적 특성에 관한 연구

박전웅 ,  염민수 ,  심현상 외 3명

대한전기학회 학술대회 논문집

2002 .11

Advances and Current Problems in Process Control : A Review

Won-Kyoo Lee

제어로봇시스템학회 국내학술대회 논문집

1992 .10

Some Recent Advances in Structural and Mechanical Dynamics

Zhao Chang Zheng ,  Gexue Ren ,  Yong Ming Cheng

Vibration Conference

1997 .11

ZnO: Perspective and Recent Advances

박윤수

한국재료학회 학술발표대회

2004 .01

Recent advances in organic photovoltaics

임동찬

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2016 .04

Si 모재 위의 Si_(x)Ge_(1-x) 박막에서 부정합 전위와 임계두께에 관한 연구 ( Study on Misfit Dislocations and Critical Thickness in a Si_(x)Ge_(1-x) Epitaxial Film on a Si Substrate )

신정훈 ,  김재현 ,  엄윤용

대한기계학회 춘추학술대회

2001 .06

( 111 ) 기판의 실리콘 단결정층 성장시 발생하는 패턴 이동 현상의 분석 ( An Analysis of Pattern Shift in the Epitaxial Growth of Silicon on ( 111 ) Substrates )

백문철 ,  조경익 ,  송성해

전자공학회지

1984 .07

성장 온도에 따른 GaAsP/GaP Epitaxial Layer의 특성

이은철 ,  라용춘 ,  엄문종 외 2명

대한전기학회 학술대회 논문집

1997 .11

저압 CVD에 의한 Si0.8 Ge0.2 막의 Epitaxial Growth ( Epitaxial Growth of Si0.8 Ge0.2 Layer by LPCVD )

이철진 ,  엄문종

대한전자공학회 학술대회

1997 .11

저압 CVD에 의한 Si0.8Ge0.2막의 Epitaxial Growth

이철진 ,  엄문종

대한전자공학회 학술대회

1997 .11