RF-Sputtering으로 제작된 ZnO 박막의 열처리특성

서진호 ,  이덕동 ,  이종현 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1984 .11

RF Sputtering으로 제작된 ZnO 박막의 열처리 특성 ( The Annealing Characteristics of ZnO thin Film Prepared by RF-Sputtering )

서진호 ,  이덕동 ,  이종현 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1984 .01

In-situ 분위기 Annealing에 따른 ZnO/Sapphire(0001) 박막의구조적 특성 분석

유인성 ,  왕민성 ,  박춘배

전기전자재료학회논문지

2006 .01

The Effects of Post-annealing Temperatures on Electrical Characteristics of ZnO TFTs

Byngn Il Hwang ,  Kyung Pa ,  k 외 3명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2008 .06

Influence on structural and optical properties of Ga doped ZnO and ZnO films by thermal annealing

이지수 ,  전훈하 ,  김도현 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

2007 .01

후속 열처리에 의한 ZnO 박막의 특성 연구

김홍승 ,  정은수 ,  조형균

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2006 .10

기판의 결정구조에 따른 RF 스퍼터링 ZnO 박막의성장과 미세구조 분석

소순진 ,  유인성 ,  박춘배

전기전자재료학회논문지

2006 .01

Undoped ZnO 박막에 Ampoule-tube 방법을 이용한 P와 As의 확산과 p형 ZnO 박막의 전기적 특성

소순진 ,  박춘배 ,  왕민성

전기전자재료학회논문지

2005 .01

증착 온도 변화에 다른 ZnO:Ga 박막의 수소 열처리에 관한 특성

김성연 ,  장현우 ,  박정식 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

2007 .01

고주파 스퍼터링법으로 증착한 ZnO 박막의 응력 형성과 박막 특성에 미치는 영향

곽상현 ,  이재빈 ,  김형준

한국재료학회 학술발표대회

1999 .01

ZnO 박막트랜지스터의 어닐링 조건에 따른 전류 변화

유덕연 ,  김형주 ,  김준영 외 1명

반도체디스플레이기술학회지

2014 .01

RF 마그네트론 스퍼터링법으로 증착한 ZnO:Er 박막형광체의 발광 특성

송현돈 ,  김영진

한국재료학회지

2006 .01

RF-Sputtering 법을 이용한 ZnO:Al 박막의 후 열처리에 따른 특성 변화

이재형 ,  이동진

전기전자재료학회논문지

2008 .01

열처리 온도에 따른 P-doped ZnO 박막의 구조적 및 전기적 특성

한정우 ,  윤영섭

대한전자공학회 학술대회

2008 .06

플라스틱 기판에 증착한 ZnO:Al 박막의 특성에 미치는 스퍼터 압력 효과

이재형

전기전자재료학회논문지

2009 .01

PLD를 이용한 ZnO 박막의 후열처리에 관한 연구

金載弘 ,  李天

전기학회논문지 C

2005 .03

SAW 대역 통과 필터용 ZnO 박막의 특성 개선 연구

이승환 ,  강광용 ,  유윤식

한국전자파학회논문지

2014 .12

Co-Sputtering 법으로 증착시킨 ZnO-based DMS의 특성

임상욱 ,  정민창 ,  함문호 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

2002 .01

Effect of annealing temperature on the electrical characteristics of P-doped ZnO thin films

Kim ,  Jun-Kwan ,  Lim 외 7명

한국정보디스플레이학회 International Meeting

2007 .01

PLD를 이용한 ZnO 박막의 후열처리에 관한 연구

김재홍 ,  이천

대한전기학회 학술대회 논문집

2004 .07