Simulation and Characteristic Measurement with Sputtering Conditions of Triode Magnetron Sputter

김현후 ,  임기조

Transactions on Electrical and Electronic Materials

2004 .01

대향타겟식 스퍼터링 장치의 공정 조건에 따른 SiOx 가스 차단막의 특성

배강 ,  손선영 ,  김화민 외 2명

전기전자재료학회논문지

2009 .01

Sputter-deposition을 이용한 백금막막 촉매층의 고분자전해질 연료전지 적용

조용훈 ,  유성종 ,  박현서 외 3명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2007 .06

SPUTTER-DEPOSITION OF CARBON NITRIDE FILMS WITH HIGH NITROGEN CONCENTRATION

Yusuke TAKI ,  Osamu TAKAI

한국표면공학회지

1996 .10

REACTIVE SPUTTER DEPOSITION OF TITANIUM NITRIDE FILMS

David J. Ha ,  a

ICVC : International Conference on VLSI and CAD

1989 .01

Pulsed Magnetron Sputtering Deposition of DLC Films : Park Ⅱ:High-voltage Bias-assisted Deposition

Hui-Gon Chun ,  Jing-Hyuk Lee ,  Yong-Zoo You 외 2명

한국표면공학회지

2003 .04

SOLID STATE CESIUM ION BEAM SPUTTER DEPOSITION

Hong Koo Baik ,  Dong Jun Choi ,  Dong Won Han 외 2명

한국표면공학회지

1996 .10

Al RF Sputter deposition시 Sputter etching이 치과용 도재와 비귀금속 합금의 결합에 미치는 영향

김진태 ,  조성암

한국재료학회 학술발표대회

1996 .01

Comparative study of microstructure and mechanical properties for films with various deposition rate by magnetron sputtering

Kyung H. Nam ,  Yun M. Jung ,  Jeong G. Han

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2000 .11

Deposition of TiO thin films using grid-assisting magnetron sputtering

Min J. Jung ,  Yong M. Kim ,  Yun M. Chung 외 1명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2003 .05

Sputtering 가공기술의 현황과 미래

구강

한국염색가공학회지

1997 .10

스퍼터링 증착법을 이용한 박막 배터리 제조 및 분석

현승민 ,  오민섭

한국생산제조학회 학술발표대회 논문집

2013 .10

PROPOSE NEW MIXTURE TARGET FOR LOW-TEMPERATURE AND HIGH-RATE DEPOSITION OF PZT THIN FILMS BY REACTIVE SPUTTERING

Tomonobu Hata ,  WeiXiao Zhang ,  Kimihi 외 1명

한국표면공학회지

1996 .10

증착율 변화에 따른 TIO 박막의 전기적, 광학적 특성 변화

문현주 ,  김대일

열처리공학회지

2016 .01

Properties of magnetron sputtering cathodes having high deposition rate and wide erosion area

Jang Sick Pa ,  k ,  Tae Woo Kim 외 5명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2005 .05

The Role of Energetic Particle Bombardment in Deposition of Thin Film Oxide Phosphors by Sputtering

Lee ,  Cho-Yeon ,  Heo 외 3명

한국재료학회 학술발표대회

2006 .01

Split sputter mode: a novel sputtering method for flat-panel display manufacturing

Pie ,  alisi ,  Fabio 외 8명

Journal of information display

2011 .01

AN EXPERIMENTAL STUDY OF PARTICLE DEPOSITION DURING THE OUTSIDE VAPOR DEPOSITION PROCESS

Jae Geol Cho ,  Jae Yun Kim ,  Man Soo Choi

KSME/JSME THERMAL and FLUID Engineering Conference

1996 .10

DC 및 RF 스퍼터링법으로 증착한 Cr 박막의 특성 비교

박민우 ,  이종무

한국재료학회지

2006 .01