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박혜진 (광운대학교) 최진우 (광운대학교) 조태훈 (광운대학교) 황상혁 (광운대학교) 박종인 (광운대학교) 윤명수 (광운대학교) 권기청 (광운대학교)
저널정보
한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제49회 하계정기학술대회초록집
발행연도
2015.8
수록면
99 - 99 (1page)

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2015

ITO 박막 증착 공정시 발생하는 실시간 플라즈마 광 측정 및 산소가스유량제어
박혜진 ,  최진우 ,  조태훈 외 4명 한국진공학회 학술발표회초록집 2015.08 학술대회자료
증착 공정시 실시간 두께 측정 및 박막 물성 연구
박혜진 ,  최진우 ,  조태훈 외 6명 한국진공학회 학술발표회초록집 2015.02 학술대회자료

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#ITO (Indium Tin Oxide) #Sputtering #Plasma Emission #Control O2 gas flow

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김현웅 ,  금민종 ,  김경환 대한전기학회 학술대회 논문집 2005 .11
스퍼터링에 의한 ITO 박막의 저온 증착 및 특성
장승현 ,  이영민 ,  양지훈 외 1명 한국표면공학회 학술발표회 초록집 2009 .05

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