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저자정보
박태성 (한양대학교) 곽동열 (서울과학기술대학교) 박익근 (서울과학기술대학교) 김미소 (한국표준과학연구원) 이승석 (한국표준과학연구원)
저널정보
한국비파괴검사학회 비파괴검사학회지 비파괴검사학회지 제34권 제2호
발행연도
2014.4
수록면
171 - 175 (5page)

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본 연구에서는 박막 표면을 따라 전파하는 표면파의 속도 분산성을 이용하여 박막의 두께를 비파괴적으로 측정할 수 있는 기법을 제안하였다. 표면파의 분산성을 이용하여 박막의 두께를 측정하기 위하여 전자빔증착법(E-beam evaporation)을 이용하여 Si(100) 웨이퍼 위에 니켈의 증착시간을 제어함으로서 두께가 다른 니켈 박막시험편을 제작하였다. 제작된 시험편의 실제 증착된 박막의 두께를 확인하기 위하여 SEM(scanning electron microscope)을 이용하여 박막의 단면사진을 촬영하여 두께를 확인하였다. 그 후에 두께가 다른 시험편에서의 표면파의 속도를 초음파현미경(scanning acoustic microscope)의 V(z) 곡선법을 이용하여 표면파의 속도를 측정하고 실제 측정된 두께와 표면파 속도와의 상관성을 확인하였다. 박막의 두께가 증가함에 따라 표면파의 속도는 감소하는 경향성을 나타내었다. 결론적으로 본 연구에서 제안한 표면파의 속도 분산성을 이용하여 나노 스케일 니켈 박막의 두께를 측정하는 기법이 가능성이 있음을 확인하였다.
#초음파현미경 #V(z) 곡선 #분산 특성 #표면파 속도 #박막 두께 #Scanning Acoustic Microscopy #V(z) Curve #Dispersion #Surface Wave Velocity #Thin Film Thickness

목차

초록
Abstract
1. 서론
2. 관련 이론
3. 실험 장치 및 방법
4. 결과 및 고찰
5. 결론
참고문헌

참고문헌 (11)

참고문헌 신청
2. [학술지(정기간행물)] - 김정석 / 2012 / 마이크로/나노 비파괴평가 기술(Ⅰ): 표면 및 표면직하 검사 / 비파괴검사학회지 32 (2) : 198 ~ 209 dbpia 3. [학술지(정기간행물)] - 김정석 / 2012 / 마이크로/나노 비파괴평가 기술(Ⅱ): 음향특성계측 / 비파괴검사학회지 32 (4) : 418 ~ 430 dbpia 4. [보고서] - V. Natarajan / 2009 / Micro and nano science and technology : naval perspective : 237 ~ 244 google schola 5. [학술지(정기간행물)] - A. Bonaccorsi. / 2007 / Institutional complementarity and inventive performance in nano science and technology / Research Policy 36 : 813 ~ 831 google schola 6. [학술지(정기간행물)] - 윤재진 / 2011 / EDS 분석과 모델링에 의한 박막두께 측정 방법에 관한 연구 / 전기전자재료학회논문지 24 (8) : 647 ~ 653 dbpia

이 논문의 저자 정보

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