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텐덤 구조의 양자점 태양전지에서 양자점의 크기에 따라 에너지 밴드갭이 달라 넓은 대역의 태양광을 이용할 수 있다. 이러한 양자점의 크기는 증착 두께의 제어로 조절이 가능하다. Si과 C target을 이용한 RF Co-sputtering 법으로 각각 증착시간을 다르게 하여, SiC/Si_{1-x}C_x(x~0.20)인 실리콘 양자점 초격자 박막을 제조하고, 1000?C에서 20분간 질소 분위기에서 열처리를 하였다. ... 전체 초록 보기

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